微电子工艺相关论文
为支撑微电子工艺实验课程建设，采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件，加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工......
为适应微电子产业的高速发展,高校的微电子工艺教学实验室的建设和实验教学对专业人才的培养发挥着极其重要的作用.介绍了微电子工......
在引入工艺可靠性基本概念的基础上,本文具体介绍了微电子工艺可靠性、表面组装工艺可靠性、电缆组件的可靠性、电路组装工艺的检......
对真空度的测量可采用各种真空计,但其输出量大多为非电量或模拟式电量.本文设计了一种电热激励/压敏全桥检测Si/SiO双层微悬臂梁......
研究产生和变换任意波面的新型光学技术与器件，是现代国防与科技发展的需要在航天预测，核聚变，激光加工及光信息处理等领域中，提出了许......
用ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ亚稳材料在高温下制作了光波导，它的传输损耗为０．８ｄＢ／ｃｍ，比低温工艺的０．５ｄＢ／ｃｍ稍大。并发现ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ材料的大量失配位错和一些有趣的现象。
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对Ｓｉ—ＦＥＡ冷发射微阴极阵列的微电子工艺技术制各方案及其测试观察结果进行了技术报道。已经获得了２０×２０／１００×１００硅尖锥阵列和栅压在１００～４００ｖ之间５０μＡ冷发射......
本文描述了一种微电子工艺制造中的切割曝光技术，用这一技术在一台Ｇ线投影曝光机上制备出深亚微米图形．由此进一步研制成功０．２５μｍＰ＋多晶硅栅......
半导体激光器具有体积小、容易泵浦、效率高、能直接调制等优点．近年来随着其技术的不断发展，它在京浦固体激光器、材料加工、医学诊......
微电子技术发展的主要趋势是实现超高速化，超大容量，多功能化和开僻新器件领域。在今后一个相当长的时期内，微电子技术产品的技术水平......
应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术 ,制作了新型 2× 2扭转微镜光开关阵列 ,并研究了其在外加静电场和交变电场中的......
体现在新工艺中的科学技术革命,对整个人类活动正在产生日益深远的影响。它对原殖民地国家和附属国的影响也正在加深。科技革命客......
采用共沉积技术制备了AgTCNQ薄膜,并进行了红外、紫外光谱表征.利用微电子工艺制备了基于AgTCNQ薄膜的有机双稳态器件.研究发现,Ti......
目前,硅基光电集成所需的各个光子学单元已经取得了巨大的突破,并且与现有的微电子工艺完全兼容:硅基光波导在
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利用多媒体教学手段和学院微电子器件实验室为教学实习基地,克服了微电子专业在材料、设备、超净环境等方面需要很大投入这一特点......
在计算技术和光网络等信息技术高速发展的信息化、智能化时代,为应对数据中心和超级计算机对数据带宽的需求和能耗的限制,发展低能......
为了促进与香港地区的科技合作和学术交流，从１９９６年４月到１９９７年１月，中国科学院与香港科技大学、香港大学商定，相继建立了一批联合实验室和联合研......
研究了衍射强度均匀分布的二元位相光栅的设计原理，利用微电子工艺加工了１６个衍射点强度均匀分布的二元位相光栅，并给出了实验结果。
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基于碳纳米管的场效应晶体管技术源于1998年,在随后的近10年间p型(空穴型)场效应晶体管的制备技术日趋完善,其性能全面超过相对应......
<正> 80年代的美国是以科技革命新阶段的发展为其特征的,一般来说,这一阶段始于70年代后期。它对国家生产力的发展产生了多方面的......
“信息社会”是国外科技先进国家的共同发展趋势,这是信息系统的新技术运用于生产,运用于社会后,将带来社会生产力的新飞跃,相应......
在国际上，计算机学者在讨论下一代的处理机体系结构和未来的计算机技术。因为微电子工艺的迅速发展，已有可能在一个芯片上集成１０亿个晶......
本文对ＰｔＳｉ／ｐ－Ｓｉ红外探测器的结构进行了优化设计，并研制成功性能优良的器件。反向击穿电压达１８０Ｖ。在７７Ｋ下，反偏４Ｖ的漏电为５×１０－６μＡ，对１．５２μｍ的红外光，量子效率为......
信息和通讯技术的发展,使人们希望制造出适应当今硅基集成技术的硅基光电子集成电路.为此必须首先制备出硅基可见光发射器件,但由......
欲制得亚微米几何尺寸的器件,研制新的干法蚀刻用气体至关重要。目前,流行于各种器件制备工艺的气体有:CF_4、CF_4/O_2、SF_6、CC......
硅微电子兼容技术是微电子技术与其它相关技术相互结合的产物,是微电子学科领域的重要发展方向之一,并使其在性能和应用领域等方面......
本文叙述了用等离子体辉光放电法将单体直接聚合成高分子膜,及淀积在半导体器件样品上的制备设备、方法、性能及应用结果。由于设......
随着计算机芯片性能的不断提高和尺寸的逐渐减小 ,计算机将进入量子阶段。低维半导体材料 ,特别是量子点系统是目前广泛研究的对象......
较全面地介绍了微电子工艺模拟及半导体器件模拟的ＰＣ实用系统和有关应用方面的研究，特别是ＳＵＰＲＥＭ（微电子集成电路工艺模拟系统）同ＳＥＤＡＮ（半导体器件特......
本文介绍了一种新型高密度低温等离子体——分布式电子回旋共振（ＤＥＣＲ）等离子体。文中利用样品架作为探针对Ａｒ，Ｈ２，Ｏ２及Ｎ２Ｏ等气体的ＤＥＣＲ等离子体特性作了定......
对ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ应变超晶格雪崩光电探测器进行了分析与优化设计，优化结构为：ｉ－Ｓｉ雪崩区厚是１．８～２μｍ；ｐ－Ｓｉ区的掺杂浓度是１０＾１８ｃｍ＾－３厚为１７ｎｍ超晶格总厚为３４０ｎｍ，它可探测１．３～１．６μｍ的红外光。......
十年前,法国提出了平板显示的结构,并研制成向列相液晶薄膜(10微米).这种薄膜夹在前面的玻璃板和背面的单晶硅片之间;前者盖住一......
本文采用微电子工艺的光刻、离子刻蚀等技术制作用于高密度光盘数据存储系统光学拾取头中分束的位相光栅，并对制得样品进行轮廓形貌......
通过分析我国数控产业的国际、国内背景，提出研制、开发微机数控开放型核心系统（ＭＮＣ—ＯＫＳ）。
By analyzing the international and domesti......
摘 要： 微电子工艺原理是微电子技术专业的一门核心课程。该课程具有知识面宽、理论与实践并重、应用性强的特点，采用传统教学模式不......
该文描述了一个面向微机械操作的虚拟环境（ＶＥＭＭ），它包括微机械的设计、组装、运行等几个环节。它的设计结果可直接用于微电子工艺制作过程......
文章介绍Ｍｏｔｏｒｏｌａ一氧化碳传感器ＭＧＳ１１００的结构原理、ＣＯ检测方法、ＣＯ敏感特性以及应用设计中涉及的特性修正。
This article describes the structure......
随着微结构气敏传感器的出现 ,金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视。本文......
采用粉末型交流电致发光作为光神经器件构成光电混合型神经网络,测试了这种器件的亮度-电压、发光光谱特性,并给出了作为探测器的......
