微电子器件相关论文
微电子器件的迅速发展对TiN电极薄膜电阻率、表面粗糙度以及厚度均匀性均提出了更高的要求。本文采用半导体工艺兼容的反应磁控溅......
随着微电子技术进入后摩尔时代,集成电路专业的研究生不仅要掌握现行的硅基微电子技术,还要能够应对行业未来的重大技术变革,引领......
针对微电子行业对高素质复合型新工科人才的需求,课程以培养具有时代担当精神、扎实专业基础和创新能力的未来行业领军人才为目标,......
基于对序进应力加速寿命试验的研究,提出了一种快速确定半导体器件失效率及寿命分布的新方法.新方法将序进应力加速试验应用于失效......
@@微电子器件已经越来越广泛地应用于国民、国防电子产品之中。尽管混合电路的数量近年都以10%比例高速增长,但数字电路仍是我们使用......
本文分析了等热流分布下的异型截面微型热管,研究管内热质传递过程,求解汽-液界面毛细半径分布、液体和蒸汽的压力分布,得到其传热......
本文重点论述了微电子器件在整个制造工艺中锈生的缺陷对器件质量和可靠性的影响,并介绍了国内外厂、所对工艺环境及工艺缺陷的控......
对工艺参数为非正态分布的工序,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.采用本文提出的方法......
本文提出了微电子器件一种新的快速评价方法,具有快速、准确、成本低、能观察分析参数退化的全过程,能有效的分析器件的退化机理.......
随着微电子器件的高度集成化及小型化,其单位体积的发热量也迅速增加,因而器件的热控制问题也变得越来越突出,本文介绍了电子器件......
面向微电子器件的小空间内高热流密度散热需要,制造了一种微型两相闭式热虹吸环路(Two-phase Closed Loop Thermosyphon简称TCLT)......
本文提出了快速评价GaAs FET可靠性寿命的一种新方法.利用GaAs FET失效敏感参数的温度特性和在一定电应力下的退化特性,在线快速提......
本文介绍了一种星用抗辐射加固电源调制器,主要从电路设计、版图设计和工艺设计三个方面抗总剂量辐射进行介绍。该产品在-55℃-125......
空间环境下应用的微电子器件,都会产生单粒子效应.随着集成度的提高,它已成为发展长寿命、高可靠卫星和航天器的重大障碍.本文介绍......
CXS系列旋转冲洗甩干机可满足不同加工工艺、不同生产配置的要求,该类设备已用于硅圆片,掩模版,太阳能电池等材料的加工工艺过程.......
宽带隙氮化镓(GaN)单晶材料可应用于制备高频、高功率、耐高温的微电子器件,实现发光波长覆盖整个可见光波段的光电子器件,在航空......
基于铜的随动强化模型,使用三维有限元方法研究了铜互连的应力特性。模拟结果表明,使用low-k电介质比起Ox/low-k来,降低了Cu/通孔中的......
生产商品化微电子器件的技术目前正逐步走向极限,人们正在探索新的微细加工技术来延长目前器件微型化的趋势。用激光梯度场对原子束......
在103种元素构成的周期表中,碳排在第6位,与硅属同一族.在过去的教科书中,认为碳原子构成两种稳定的晶体结构,石墨和金刚石.石墨是......
由于YBa2Cu3O7-x(YBCO)高温超导薄膜具备优异的电学性能,用其制作的高温超导微波无源器件具有体积小、重量轻、损耗低、噪声小、低......
《电子元件与材料》创办于1982年,每月5日出版,是由工业和信息化部主管,国营第715厂、中国电子学会、中国电子元件行业协会共同主......
这才是真正的电子眼Mojo Vision AR隱形眼镜 Mojo Vision AR隐形眼镜由微电子器件和微显示器组成,可以获取重要信息,辅助用户更好......
本文研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件2SC3356造成的潜在性失效.采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356从CB结施加......
本文介绍一种实验确定微电子器件单粒子翻转(SEU)灵敏体积(Sv)厚度d的方法.用从低到高不同能量的重离子辐照微电子器件,测量其SEU......
运用显微云纹干涉法可以获得放大100倍以上的云纹干涉条纹,结合相移技术可以分辨出百分之一的条纹位相变化,从而获得更高的位移测量......
本文主要论述空间自然辐射环境与人为辐射环境对航天器中微电子器件的影响.分析了几种典型器件的辐射效应及损伤机理,提出提高微电......
本文利用EBSD取向成像技术测定并分析了拉拔金丝及热超声金丝球倒装键合织构.结果表明,冷拔后金丝主要织构为〈111〉和〈100〉丝织......
本文对Al互连线和Cu互连线的EBSD分析进行了眼药。研究表明,EBSD测试和分析采用JEOL 6500热场发射扫描电镜和TSL EDAX的EBSD和EDS一......
本文确定了用聚酰亚胺涂料作为硅晶片钝化保护材料或绝缘介质材料的使用条件,重点研究了聚酰亚胺涂料在施工过程中粘合性能、成环......
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可控热膨胀材料在高精度光学镜面、光纤系统及微电子器件等许多领域具有重要的应用价值。本研究采用固相合成法制备化合物Sc2-xAlx......
金属氧化物薄膜如HfO_2(被称为高k电介质)是现代微电子器件的关键组件,广泛用于计算机(平板电脑,笔记本电脑和台式机)、智能电话、......
本文扼要介绍了一种崭露头角的微电子机械系统(MEMS)的应用前景,以及它的最新工艺技术。并预示在推进MEMS工艺的前提下,MEMS产品将大有作为。
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为了寻找适合真空微电子器件的场发射阵列(FEA)覆盖材料,我们采用了一系列功能材料作为覆盖膜,薄膜淀积采用离子束辅助淀积(IBAD)以及其......
共焦激光器可以提供光学装置和微电子器件的精度。
Confocal lasers provide the precision of optical devices and microelectr......
西安电子科技大学微电子研究所MicroelectronicsInstituteofXIDIANUniversity¥//西安电子科技大学微电子研究所创建于1987年,其前身为半导体物理与器件专业(1959年建立).经过几十年的努力,已经建......
本文详细地介绍了真空微电子栅极工艺制造的自剥离与无版光刻技术,并用这两种方法分别制造出了符合要求的栅极结构.在现有的条件下进......
本文对结构相同的覆四种不同金属层(金、铝、镍、铬)的P型硅楔形体阵列进行了实验比较研究,表明金、铝、镍可望成为低真空和大气压环境......
本文采用PCT试验方法SD13005型NPN高反压大功率晶体管进行了加速寿命试验,发现BVce0是其退化的最敏感参数。并利用自行研究开发的《微电子器件可靠性指......
本文简要地叙述了真空微电子学的主要进展,在介绍场发射阵列FEA、场发射显示器FED、真空微电子微波毫米波器件等的发展过程中,重点......