微电子机械系统相关论文
本文主要针对体微加工过程中微电子机械系统以及微机械加工技术中的硅微机械加工技术的联合运用进行研究，结合微电子机械系统技术的......
电镀已经成为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术中的一种重要加工手段,相比于传统意义的表面处理作用,MEMS技术中的电镀......
针对传统开关滤波器组件体积庞大、重量重、调试复杂、集成度低的问题,设计并制作了一种小型化六通道毫米波硅基MEMS三维异构集成......
微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。但是随着MEMS技术的发......
壁面剪应力的精确测量对于研究水中航行体边界层流动、寻求有效的减阻降噪措施至关重要.由于采用MEMS的水中壁面剪应力测量相比空......
微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)是指将机械，电子，光学等类型的功能元件，集成在单片或多片芯片上构成的微型......
变形镜是自适应光学系统的关键部件。本文提出了基于MEMS技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。反射镜由静电驱动，包含超薄硅......
微电子机械系统(MEMS)的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战.本文采用激光短脉冲步进式加热方法作用于......
利用MEMS技术研制了用于高精度谐振式压力传感器的SiN梁谐振器.器件采用电热激动、压阻拾振方式.本文阐述了SiN谐振器的结构、制作......
本文概述了微电子机械系统的技术特点,分析了微电子机械系统的市场发展趋势.介绍了微电子机械系统的重要部件超微马达的类型及其优......
驱动器是一切自动化和设备的动力部件。该文分析了尺寸效应及其在微致动领域中的作用，总结了现有的各种致动原理的驱动器，并对其性能......
微机械加工技术是提高射频通信关端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中介绍了应用MEMS(微电子机械系统)技术的体声波射频滤波器......
介绍了一种利用体硅工艺实现的电容式微机械陀螺.陀螺的驱动模态和检测模态采用互相独立的弹性梁结构,可以减弱两个模态间的机械耦......
本文研究了Ni-MoS复合电镀层在不同工艺条件下的结构特征、形貌,并分析了其摩擦特性,发现复合电镀层厚度和MoS的晶向对摩擦系数影......
微减速器与微马达相配,可以提高微马达的输出力矩,拓展微马达的应用场合.本文介绍了用LiGA技术制造模数0.03微齿轮,并用显微装配技......
为了解决微电子特别是MEMS(微电子机械系统)器件结构中的氮化硅薄膜的应力问题,本文采用了离子注入的方法来获得低应力的氮化硅,分......
本文介绍了一种与CMOS工艺兼容的集成湿度传感器,它将传感器和处理电路集成在一块片子上,与传统的湿度计相比,具有体积小、成本低......
本文在分析了转基因微操作的技术现状及其应具有的机能的基础上,介绍了作者研制的微细操作系统,并着重阐述了超微量注射技术研究.......
近年来,随着微电子机械系统(MEMS)技术的迅速发展,比如微型传感器,微陀螺以及其他的空间设备的微型化的快速发展,与之相关的微型能......
A novel design and fabrication approach for a high fill-factor micro-electro-mechanical system (MEMS) micromirror array-......
简要介绍了基于故障物理的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems, 微电子机械系统)可靠性研究方法和技术路线。以电容式RF MEMS......
残余应力是微机械表面加工过程中不可避免的,残余应力的存在会影响微机械器件的性能。通过引入等效力学模型,推导出残余应力作用下......
随着我国航天工程的技术发展,对航天器用惯性器件的小型化和轻量化的需求越来越高,研究微电子机械系统(Micro electromechanical s......
光遗传(Optogenetics)结合光学和遗传学手段,可以精确地控制特定神经元的活动,为神经科学的研究提供了强有力的手段.光电极在光遗......
在声学微电子机械系统中,硅微传声器有着重要地位,也具有使用前景.目前,硅微传声器主要有两种结构,即硅微电容式传声器和硅微压电......
报道了一种中心频率为2GHz的电感电容(LC)压控振荡器,其谐振回路由微机械可变电容和键合线电感构成，微机械可变电容采用与集成电路......
本文采用了一种高度对称的四梁结构,并利用该结构开发了一种电容式三维加速度计.我们用有限元分析工具ANSYS 5.4对器件进行了模拟,......
微纳加工与测试技术是目前最为前沿的研究领域之一,加工技术是微纳科学与技术研究的前提条件,测试技术则是在微纳科学与技术研究过......
MEMS英语全称为MicroElectroMechanicalSystem,即微电子机械系统.半导体微电子系统、集成电路IC系统和超大规模集成电路系统国际上......
微电子机械系统MEMS中通常包含有可动构件(膜、梁、梳、面、弹簧等),研究其承受压力、弯曲等机械及热负荷性能的重要方法是测量其......
温度、湿度传感器是两个常用的器件,在工农业自动化、环境检测等方面有着广泛的应用.本文回顾了几种微型湿度传感器的研究,应用MEM......
以光开关为主介绍了几种典型的用于光通信的微电子机械系统光器件的研究现状，并介绍了微电子机械系统技术进展。基于微电子机械系统......
随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系......
推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽......
该文对中科院上海冶金研究所图书馆新学科的图书分类方法作了简要介绍。
This article gives a brief introduction to the book ......
在2014S EMICON Taiwan国际半导体展上，索尔维集团特种聚合物事业部面向半导体、纳米电子、微电子机械系统（MEMS）、光伏及相关先进电......
本文扼要介绍了一种崭露头角的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的应用前景，以及它的最新工艺技术。并预示在推进ＭＥＭＳ工艺的前提下，ＭＥＭＳ产品将大有作为。
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在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性......
本文提出了压电薄膜微马达的工作原理，介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺，最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。......
近年来，研究者把微生物技术和微加工技术结合起来构成微电子机械系统（MEMS）用于临床诊断、生物化学检测和生物细胞监控。该MEMS将对分......
文中介绍一种无接触测量机械部件微运动情况的光纤Michelson干涉测量方法的原理、实验装置和实验结果。根据计算和实验研究，对应不......
微电子机械系统与虚拟现实技术都是最新的技术生长点：将此两项技术结合，建立起微机械的虚拟现实系统，无论是对虚拟现实技术的应用，还是......
本文评述了微电子机械系统技术在通信领域中的潜在影响,预计这项技术将引发微通信卫星、光通信系统制造方法和使用方式的变革,同时......
从取放微机械构件的方式，对观察系统的要求等方面对微机械构件组装技术进行了研究，并用所设计的组装装置进行了组装实验，得到了满意的......
