微加工相关论文
飞秒激光具有极高的瞬间功率和超短脉冲宽度,可用来在原子和电子的层面上观测物质,并且具有超高精度和空间分辨率,也适用于各类材......
随着我国航空航天、微电子和医疗等领域的快速发展，组成元件逐步迈向微型化和精细化，这对零部件的切割以及微米级孔、槽等结构的加工......
真空沿面闪络是一种真空环境下沿绝缘子表面发生的贯穿性放电现象,闪络电压一般远低于真空击穿电压和绝缘材料的体击穿电压,已经成......
陶瓷基复合材料因其优异的散热性能、绝缘性、热膨胀系数和物理硬度等,适用于大功率电力电子模块、航空航天和军工电子等领域,但由......
目前针对各种改性PbO2电极的电化学性能研究多停留在宏观层面,所得到的电化学性能参数是整个电极测试区域的平均值,难以区分电极表......
微透镜阵列是一种被广泛应用于光信息处理、光传感、光计算、光通信和高灵敏度成像等领域的精密光学元器件之一.通过一些先进的制......
针对两类三轴硅加速度传感器,文中从结构、工作机理到制作工艺过程都作了详尽的剖析.从公布的测试结果来看,多质量三轴技术所受限......
驱动器是一切自动化和设备的动力部件。该文分析了尺寸效应及其在微致动领域中的作用，总结了现有的各种致动原理的驱动器，并对其性能......
给出了一个用约束刻蚀剂层技术对金属铜进行微区电化学刻蚀的电化学体系,并考查了约束剂的效果以及电流密度对被刻蚀区域显微结构......
径向偏振光是电矢量振动方向在光束横截面上具有轴对称性，且始终沿着半径方向的一种偏振光.最近的研究表明，具有电矢量轴对称分布的......
石墨烯是一种SP2 杂化的二维材料，是碳元素的同素异形体，拓展形成蜂窝的形状。它可以一层层的堆栈形成三维的石墨，平铺成一维的碳纳米......
硅是微机电系统中(MEMS)应用最为广泛也是最为重要的材料,硅的微加工已经成为MEMS中的核心技术之一.光刻技术是目前硅微加工的主流......
We present a category of novel photothermal (PT) microactuators. Each microactuator consists of two PT arms that are joi......
本文对140GHz 带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真.CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速......
综述了飞秒激光进行材料加工的多种机理和理论;主要介绍了飞秒激光对玻璃、石英、金属、聚合物等各种材料加工的最新研究进展状况......
飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技......
当高强度短/超短脉冲激光聚焦于靶材表面或介质内部时,若其峰值功率密度超过某一阈值,靶材表面或介质内部会形成等离子体,等离子体......
未来,钻石将不只是传统印象中的昂贵宝石,人造金刚石也不再是一种机械加工材料,金刚石还将会是一种极具潜力的电子材料、光电材料......
利用数字全息显微技术对玻璃微加工中微结构的形貌进行了高精度测量,基于马赫-曾德离轴显微干涉系统记录微结构的数字全息图,用混......
采用准分子激光微加工技术加工ITO透明电极，分析了准分了激光对玻璃和ITO薄膜的不同刻蚀阈值。借助高倍显微镜和三维形貌仪，讨论了准......
实现了一种新型刻蚀深度实时检测系统，整个系统对温度漂移，气体流动与外界振动等环境因素极不敏感，系统测量误差小于０．９８％，实现了在真空环境......
<正>Electric discharges are ubiquitous in modern technologies and find applications in numerous areas ranging from micro......
太赫兹(THz)光子晶体的研究在近些年得到快速发展,对其传输性质和相关功能器件的研究都有广泛报道,但现有研究很少从器件微加工和......
国外光电子技术的热门应用和对国内发展的看法于祖兰，卢中尧（《激光技术》编辑部）９０年代以来，国外的激光和光电子技术在办公现代化、材料......
扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究扫描隧道显微镜ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）不但具有时物质表面原子结构的三维成象能力，而且通过控制ＳＴＭ针尖发射电子、离子及针......
众所周知，世界正在变小。人们正开始把电话机放在口袋里，把计算机拉在手臂下。汽车正在快速发展微小传感器和微小调速控制器。人们正......
本文介绍了一种没有脉冲形成网络的新型脉冲激光电源的主回路．分析了用单板计算机控制其输出频率与脉冲宽度、脉冲波形的原理及方法......
激光微束与光钳系统周志康（重庆京渝激光生物研究所重庆４０００３９）本文报导了由我所设计的激光微束与光钳系统的结构和特点。本系统由脉冲调Ｑ倍......
采用ＫｒＦ准分子激光对ＳｒＴｉＯ３和Ａｌ２Ｏ３陶瓷进行刻蚀。给出了刻蚀速率与激光能量密度的关系，并对实验结果进行了分析。
SrTiO3 and Al2O3 ceramics we......
本文论述了新兴纳米加工技术－ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）的原理、实验方法、结构形成的机理和最新成果，并分析了它的发展潜力和当前需要研究的主要课题。
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随着激光解决了工业和实验室中越来越多的问题，能分析激光功率、能量、光束质量和光束稳定性的仪器的应用也应运而生。与激光扩大了......
根据亚利桑那大学研究人员的研究工作，能够同时有效地吸收双光子的分子不久的将来也许会用于三维荧光成像、光学数据存储以及微加工......
1998年9月在斯坦福大学召开了非线性光学材料中心（CNOM）的年会．会议的主要问题是如何使非线性光学材料走出实验室进入商品市场．会议宣......
尽管带有冷却剂的流动工作材料在常规金属切割中通用，工业激光用户对他们的加工过程中通水仍然有点怀疑．但是，潜在的回报显然已足够高......
基于衍射光学原理，获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度之间的关系式。研究表明，离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足Ｌ＝１时的微透镜微......
激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点，对......
新一代的半导体泵浦固态紫外激光器能输出平均功率１Ｗ以上的３５５ｎｍ光，全固态设计，坚固耐用，使用简便灵活，在工业精细加工上有突出的优势。本文介......
由欧盟BRITEEURAM计划投资的研究激光亚微米加工的三项计划已圆满结束。借助激光亚微米加工的高精度微型零件和光学模具结构系列以......
