相移显微干涉相关论文
微纳加工与测试技术是目前最为前沿的研究领域之一,加工技术是微纳科学与技术研究的前提条件,测试技术则是在微纳科学与技术研究过......
本文结合频闪成像技术和相移显微干涉技术，建立了MEMS-DMs静态及离面运动测试系统，提出新的用于恢复离面运动信息的双向相位展开算法......
为了设计一种形貌与边缘复合测量系统,能够兼具形貌、边缘、阶高等多种测量功能,本文主要完成了如下几项工作:1、设计并搭建了基于......
将频闪成像技术和相移显微干涉技术相结合,提出了一种基于面内补偿的微机电系统(MEMS)离面运动测试方法。首先通过相移显微干涉技......
MEMS动态测试技术是MEMS测试技术的重要组成部分，是目前国内外的研究热点之一。常用的MEMS动态测试系统多基于光学干涉技术或激光多......
随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)的发展,为了进行微小结构的机械力学特性分析,或者MEMS器件的可靠性测试......
本文阐述了飞秒激光微精细加工技术的原理特点，在微机械和微光学中的应用，及其在加工研究中取得的一些进展；提出一种基于计算机视觉、......
