平坦化相关论文
浅沟槽隔离（STI）化学机械抛光（CMP）是集成电路制造中的一项关键技术,要求有高的高密度等离子体二氧化硅/氮化硅（HDP/Si3N4）速率选择比（大......
美国经济复苏、通胀压力回升、美联储货币政策转鹰支撑了年初美债收益率上行,但近期美国国债长端收益率却意外下行并创下2021年2月......
2020年,离岸人民币掉期各期限的价格中枢普遍上移;短期限上行幅度大于中长期限,曲线趋于平坦化;离岸人民币掉期与即期走势的共振弱......
2011年6月14日,央行在统计局公布宏观经济数据后,立即上调法定存款准备金率0.5个百分点,超出市场预期,对银行间利率市场形成了一定......
根据电化学分析,5-甲基苯并三氮唑(m-BTA)的腐蚀抑制能力要高于苯并三唑(BTA)的。当羟基乙叉二膦酸(HEDP)电解液中同时含有m-BTA及......
本文扼要介绍了一种崭露头角的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的应用前景，以及它的最新工艺技术。并预示在推进ＭＥＭＳ工艺的前提下，ＭＥＭＳ产品将大有作为。
This......
ＮＥＣ研究先进的Ａｌ┐Ｇｅ┐Ｃｕ工艺据ＳｅｍｉｃｏｎｄＩｎｔｌ１９９６年第６期报道：ＮＥＣ公司的研究人员正在不断观察Ｇｅ加入Ａｌ－Ｃｕ互连后的作用，以得到一种有实际生产价值的低温回流溅射工艺。这......
多层金属有线互连技术是VLSI工艺中最重要和关键的技术之一．本文系统地研究了用效0．8μmCMOSVLSI的双层金属布线工艺技术，特别是对双......
春节过后的中国债券市场所显现一个主要特征是滞涨行情的延续,与前期不同,进入2月份以来,银行间市场中的各期限债券收益率变化出......
一、一月份债券市场回顾进入2006年以来,银行间债券市场继续以摧枯拉朽的气势高歌猛进,市场收益率曲线继续呈现平坦化下移的特点,......
阐述了实现多层平面互连结构的方法 ,对该技术中的三个主要方面——介质隔离度、小于 2 .0 μm× 2 .0 μm互连孔和 5 0 nm之内的......
为了提高表面及表面的金属间介质层平坦度 ,ＬａｍＲｅｓｅａｒｃｈ公司和ＩＰＥＣ/Ｐｌａｎａｒ公司共同开发了将腐蚀、沉积、化学机械抛光 (ＣＭＰ)工艺相结合的工艺技术。实践证明......
世界级的电子化学品领导厂商默克集团于10月15日在上海举行了默克2003年科技研讨会。此次研讨会先后在新加坡和我国台湾、上海三......
对波分复用系统中一种重要的解复用器 衍射蚀刻光栅 (EDG)的输出结构进行了研究 ,并提出一种新的采用渐变波导和空气槽相结合的结......
高性能聚合物材料集团及全球VICTREX PEEK品牌聚合物制造与供应商威克斯公司(Victrex plc)推出其在半导体领域的先进专有技术。对......
IC器件尺寸的纳米化,要求高的光刻曝光分辨率,在采用短波长和大数值孔径曝光系统提高分辨率的同时导致了焦深变浅,进而对晶片表面......
分析和模拟L_band EDFA的增益特性对其优化设计和实验有着重要的意义。基于Giles模型,数值模拟了L_band EDFA中的信号光、泵浦光和......
不同于传统的CMP,ECMP的去除速率与下压力无关。由于利用了二价铜离子与铜界面之间的弱键合,ECMP能够用电解抑制剂来进行更有效的......
设计一种新型光子晶体光纤,可在300 nm带宽范围内实现近零超平坦色散特性.光纤端面上所有空气孔按照通常的三角形规则均匀排列,中......
设计了基于绝缘层上硅(SOI)平坦化阵列波导光栅单纤三向器.三向器三个波长(1310,1490和1550nm)工作在阵列波导光栅的三个不同的衍......
研制成功了一种无微空气桥的亚微米InP基异质结双极晶体管(HBT).发展了小于100nm的发射极侧向腐蚀工艺,实现了亚微米的InP基HBT.发......
成功地将Polyimide钝化平坦化工艺应用于InP/InGaAs单异质结晶体管制作工艺中.在Vce=1.1V,Ic=33.5mA的偏置条件下,发射极尺寸为1.4......
2011年6月份债券市场主要特点为:中债净价总指数快速下挫后低位徘徊;债券指数全面下降;国债收益率曲线短端大幅上行;高等级企业债......
2011年2月份债券市场主要特点为:中债净价总指数呈W型走势,略有上涨;债券指数出现分化;国债收益率曲线陡峭化下移;高等级企业债收......
对现有放大自发辐射(ASE)光源与掺铒光纤放大器(EDFA)增益平坦的方法做了分析和讨论,采用双芯光纤和光纤波分复用(WDM)耦合器组合......
在2011 IC China展会上,盛美半导体设备(上海)有限公司推出了最新的半导体制造设备——无应力抛光集成设备(the Ultra iSFP)。该设......
功率模块用最新的IGBT性能已有了显著提高,且已经非常接近物理极限。作为下一代IGBT功率模块,我们已经在1.2kV级别上提出了CSTBT~(......
经济与信息的全球化已经使得世界变平了——世界上不同角落的个体处在了同一个起跑线上。要想经受住平坦化的冲击,在这个平坦的世......
荧光相关光谱(FCS)用于研究化学机械平坦化研磨液中添加剂-磨料粒子间的相互作用。通过添加剂和荧光探针分子,Alexa fluor 546(A54......
针对不含腐蚀抑制剂苯并三氮唑(BTA)的碱性铜粗抛液,通过对3英寸(1英寸=2.54 cm)铜片上的动态抛光速率和静态腐蚀速率的研究来模拟......
研究了精抛液中各组分对Cu/Ta去除速率的影响。在分别考察磨料质量分数、Ⅱ型螯合剂、活性剂和双氧水等各组分对Cu/Ta去除速率的影......
主要研究了Czochralski法生长的β-Ga_2O_3单晶片的化学机械抛光(CMP)。采用酸性硅溶胶溶液作为抛光液,对经过切割、机械抛光后的1......
研究了阴离子表面活性剂十二烷基硫酸铵(ADS)在弱碱性铜抛光液中对晶圆平坦化效果的影响。对不同质量分数的阴离子表面活性剂ADS下......
随着高速铁路列控系统的自动化程度越来越高,列控车载设备成为列车安全运行、提高运行效率的关键设备。该设备是典型的安全苛求系......
１号高炉大修顺利完成，于１９９７年５月２５日点火开炉。本次大修中，高炉炉体耐材、炉身冷却系统、炉前出铁场、水渣等系统均作了改进。炉体关键部位......
托马斯·弗里德曼在《世界是平的》一书中就“公司如何应对平坦化”时分析认为,当世界变得平坦,并且你也感到这种压力时,你应该挖......
超大规模集成电路已经进入了运用亚微细粒加工技术的阶段,今后微细化还会有进一步发展。以存储器为代表的元件使用电压虽然同过去......
一、收益率曲线平坦化上行,国债金融债利差放大(一)国债品种收益率曲线变化一览2006年4月30日至2006年5月31日的收益率统计数据显......
升息过后的9月份债券市场可谓气势如虹,形成了今年以来罕见的一波牛市格局,在政策面利空基本出清预期的激励下,再配合以充裕的资......
