微传感器相关论文
随着激光技术的发展,激光微加工技术在激光刻蚀、表面改性、增材制造等领域得到了广泛的应用。其中,激光诱导向前转移（Laser Induce......
首先讨论了一种耐高温、抗过载的微加速度传感器的结构，然后对该传感器的制作工艺作了介绍，最后应用ANSYS软件对其进行了仿真，确定了......
本文研究了一种基于聚合物-碳黑混合物的气敏微传感器.通过四种不同的聚合物敏感材料以及混合的碳黑修饰在梳状微电极上,可以得到......
微弱信号检测技术是传感器朝着微型化、集成化、智能化、网络化发展的关键技术。本文在介绍国内外基于微传感器集成系统芯片(SOC,S......
MEMS工艺提供了在微小硅片上加工含有复杂功能集成系统的能力，由于其体积小、成本低、产量高等优势，近年来MEMS微传感器得到了迅速的......
高层大气是空间天气和空间环境研究的重要内容,它占据着大部分地球空间.高层大气区域内存在复杂的物理和化学过程,这些过程与人类......
该文主要对一种谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构进行优化设计。所讨论的敏感结构中以方形硅膜片作为一次敏感元件，直接感受被......
结合微机电系统(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)技术制备了微型电化学三电极系统,并采用纳米金(gold nanoparticles,AuNPs......
随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造......
网络运行过程中,存在着一定的安全问题,需要采取智能监测措施,保障网络环境的安全性,基于此,本文先从网络框架、安全标准对智能网......
本文报告应用末端微传感器制成一种完全可活动的记录装置来长期监测膀胱压,并评价其技术性能。方法用2根Gaeltec6F导管末端传感器......
切削力的测量旨在改进和提高切削加工性能。本文设计和制备了一种镍铬合金薄膜微传感器,将其焊接嵌入刀具的刀杆上以测量加工中的......
应力性尿失禁手术治愈率仅50—90％,客观治愈率更低。微传感器记录静止时尿道侧面图(UPR)和用力时尿道侧面图(UPS)是一新技术,可以......
摩擦学研究五花八门,但不难发现明显的侧重点,汽车显然是一个热门话题。日本汽车工业对摩擦学的重视出于这样的考虑:持续增长的汽......
在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性......
本文提出了压电薄膜微马达的工作原理，介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺，最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。......
介绍标准ＩＣ工艺与使用ＫＯＨ或ＥＤＰ（乙二胺－焦儿苯酚混合物）进行本体微机械加工的集成方法。钼被用作最终金属化材料是因为它具有耐ＫＯＨ或ＥＤＰ腐蚀的本领。......
KOH碱性蚀液的PN结自致蚀停电化学腐蚀技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在90℃的PN结自致蚀停的基本特性，......
最近 ,美国联邦公路总署对公路桥梁无损检测技术提出了研究与开发计划 ,涉及到许多新技术和研究课题。已经启动的研究项目有 :1、......
本文介绍一种新型直线导轨──滚动直线导轨的综合测试系统．该系统应用激光、光纤、测微传感器、激光准直、应变式测力传感器，通过微......
本发明与红外像元列阵中使用的一种像元结构有关,更准确地说,本发明的结构是用于微发射器或微热辐射计的。在微发射器应用中,本发......
fO2 高K栅介质薄膜的电学特性研究韩德栋 康晋锋 刘晓彦 韩汝琦 1 1…………………………………………应变Si1 xGex 沟道PM......
据《Semiconductor FPD World》2008年第8期报道,日本富士通研究所和富士通微电子联合开发了用于32nm逻辑LSI的低功耗CMOS技术。为......
本文对在国产设备2500B、500B、300B 上生产的钨丝直径进行了连续测试,分析了丝径不均的原因,提出了控制办法,并进行对比试验,取得......
表面等离子共振检测系统的研究进展电化学免疫传感器研究进展 ……一应用酶放大电极的免疫测定…………综 述期 页码………………......
在美国的邦纳维尔坝,正在使用电子幼鲑帮助科学家们测定水轮机对鱼类向下游游入大海时的影响。这种称作“感应鱼”的电子鱼是由太......
人体内黄嘌呤的含量是否正常与人体健康有密切的关系，其微小变化可用于反映和指示相关代谢的异常和疾病的可能[1]。分子印迹技......
本论文提出了一种基于MEMS技术、利用痕量爆炸物爆燃放热特性对其进行检测的方法。首先对痕量爆炸物受热激发下的爆燃反应进行研究......
随着微机电惯性传感器(Micro-Elect romechanical System，简称MEMS传感器)的发展，基于微机电惯性微型传感器的动作捕捉系统由于具有......
本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺.文中详细给出了这......
基于微流体芯片技术提出了一种液压油微传感器.微传感器由内嵌硅钢片的平面电感检测线圈与对置硅钢片构成.电感检测模式下对金属颗......
微型机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科.本文简要介绍了MEMS的历史、对各行各业发挥的重要作用以及研究的主要成......
3000年,世界将发生天翻地覆的变化,我在这里斗胆畅想3000年的衣食住行,以抛砖引玉。衣那时的衣服将是今天电脑、空调、微传感器等......
据美刊报道,美国圣边亚国家实验室最近建立了一个“综合材料研究实验室”,其任务是为工业以及军事开发各种关键材料,包括半导体、......
1.前言众所周知,低温环境对硅分散膜微传感器的偏压和压力灵敏度都有不利影响。为使压力传感器和相应的电信号调节电路能用于-173......
利用植入的葡萄糖酶传感器测量葡萄糖氧化时所放出的H_2O_2还存在以下几个未解决的问题。(1)在体外定标的传感器电流与其体内对应......
由于高新技术的迅速发展，微型机械包括各种微传感器、微执行器和微控制器的研究和为一些尖端技术发展过程中的重要手段越来越受到国......
在科学技术飞速发展的今天 ,特别是被称为 2 1世纪核心技术的信息技术、生物技术和微纳技术的迅猛发展 ,使各学科之间正呈现出高度......
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems微机电系统)是集微结构、微传感器、微执行器和微电控为一体的机电系统,是一个多学科交叉......
通过对微电容式压力传感器的结构和工作原理进行分析,建立基于模糊模型法的数学模型,开发相应的算法程序,对微电容式压力传感器进......
纳皮型卫星和卫星编队飞行的发展,对星上推进系统提出了更高的要求,基于微机电系统(MEMS)技术的微型推进系统以此为契机迅速发展起......
前不久,美国《科技评论》杂志透露了美国军方“超级军服”的计划。根据这一计划,美军未来的高科技军服,将不仅具有防寒、伪装等传......
