静电驱动相关论文
微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)是一种在半导体制造技术的基础上发展起来的先进的制造技术,可以在几毫米甚至更......
微流控技术作为一种操控或处理小尺寸流体的技术,能够在消耗少量样品的情况下进行生化分析。微流控技术具有反应速度快、灵敏度高......
传统的刚性机器人由于自身复杂的刚性结构影响了其环境适应性,导致这类机器人的灵活性较差,难以在受限空间或复杂地形中工作。随着......
变形镜是自适应光学系统的关键部件。本文提出了基于MEMS技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。反射镜由静电驱动,包含超薄硅......
对梳状叉指电极驱动的折叠悬臂梁结构的运动进行了研究.研究表明,在直流电压驱动下,悬臂梁的运动有一阈值;在阈值前,悬臂梁运动位......
会议
提出一种新型的由静电驱动的微型操控系统,可用来夹持50~200μm的微粒.文中阐述了用碳纤制做微型镊子的过程,对其电压-位移进行测......
铁电材料的电热制冷是一种高效的可替代氟利昂的新型材料,这里利用了柔性铁电电热聚合物膜和静电驱动机制,使固态制冷聚合物膜在静电......
阶梯型微悬臂梁是低驱动电压MEMS器件中广泛采用的一种典型的低刚度结构.本文提出了阶梯型微悬臂梁固有频率近似解,并揭示了其振动......
静电驱动的微/纳米梁谐振器在质量、生物化学传感,信号滤波和无线传输等领域因其卓越的性能越来越受到人们的关注。一方面由于它们......
介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩......
利用COMOSL多物理场有限元软件, 对无孔、圆形孔、正方形孔、菱形孔四种新型折叠梁形桥面结构Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器进行......
残余应力是微机械表面加工过程中不可避免的,残余应力的存在会影响微机械器件的性能。通过引入等效力学模型,推导出残余应力作用下......
微加工的方法和局限性使得MEMS元件的边界条件是非理想的。实际系统的行为往往偏离理想边界条件。通常,非理想边界条件用小的变......
本文利用电容两极板间的静电力可以促使两极板相互靠近这一特点,提出了对静电驱动微细电解加工进行研究,以及设计静电驱动微细电解......
为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性,提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构.通过有限元与边界元方法,对不......
通过研究人血清白蛋白的单色氨酸分子(Trp-214)或其配合基的荧光响应可以了解人血清白蛋白与药物分子的相互作用机制,但定性的光谱......
莱顿瓶是最古老的电容器,利用塑料杯和铝箔制作性能良好的电容器,开展富兰克林钟、富兰克林马达等趣味实验,加深对电荷、库伦力等......
本文利用硅硅直接键合技术引入了一种完全采用单晶硅制作的静电激励的微机械谐振器,文中对静电激励力进行了分析,实测表明该谐振器频......
阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果。结果表明,谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关。在模态的两节点的中......
微机械数模转换器是一种用数字信号精确控制微执行器输出量的新方法 ,本文介绍了微机械数模转换器的概念 ,分析了“C- 2 C梯型网络......
报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜,其中复合静电驱动结构由一个平板驱......
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱......
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot(F-P)可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计......
MEMS光开关是光通信、传感领域非常重要的一个光无源器件。本文对MEMS光开关技术及国内外发展进行综述,同时提出一种基于静电驱动M......
本文利用电容两极板间的静电力可以促使两极板相互靠近这一特点,提出了对静电驱动微细电解加工进行研究,以及设计静电驱动微细电......
随着航空航天事业的蓬勃发展,对高精密零部件的需求日益增加,而微细电解加工因其加工精度高、电极无损耗等优势,受到越来越多的关......
本文以一类静电驱动双侧平行板电容型微加速度计的动力学模型为研究对象,该器件由直流偏置电压和交流电压共同驱动。基于局部分岔......
石墨烯(GP)作为一种二维材料,具有优异的导热性、高机械强度、高导电性等性能,自问世以来受到科研工作者的广泛关注。近年来随着研......
智能驱动器在受到外部刺激(光、热、电、湿、磁等)时,可做出响应并执行相应操作或命令,在微型机器人、信息交互、远程遥控等领域具......
近年来微透镜作为智能设备摄像头起着不可替代的作用,人们越来越热衷于拍照去记录自己那一时刻的人物,事物又或是景物,去记录自己......
学位
在当今的工业加工中,产品的尺寸越来越小,精度也越来越高,这些促使着加工方式朝着精密、稳定的方向发展。微细电火花电解复合加工......
随着微型尺寸产品在各领域的需求增加,微细零部件的加工受到越来越多的关注,微细电解电火花复合加工因无需考虑材料的硬度、强度和......
较系统地研究了静电梳驱动微振子的结构和工作原理,导出了微振子的谐振频率、品质因子及跨导等参数,以及相应的力学和电学模型,并......
微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于......
反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分,近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新......
日本东京大学精密工学研究所新近开发成功一种利用非晶合金薄膜材料借助于静电驱动的锥形螺旋弹簧微型致动器 ,系世界首创制品。该......
充分考虑压膜阻尼效应的影响,提出参数激励下时变电容式静电驱动微机电系统的动力学模型,采用谐波平衡法分析在参数激励和强迫激励......
基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式,设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统(MEMS)变形镜(DM),并用Zy......
基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动......
静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响。设计并利用表面硅工艺加工制......
1987年,随着人类对微观世界的操控能力越发深入,肉眼无法分辨的微电机出现了。美国加州大学伯克利分校做出了世界上第一个静电驱动......