压电薄膜相关论文
近年来，压电薄膜振动传感器发展十分迅速，已被广泛应用于结构健康监测、医疗电子、加速度、器件振动等测量。该文针对压电薄膜振动传......
随着新型冠状病毒在全球范围内的爆发,人们对疾病的预防、诊断和治疗提出了更高、更迫切的要求。通过有效的筛查和诊断,医生可以在......
针对传统固体压电陶瓷式压电探头安装结构复杂、响应频率范围窄、对于复杂曲面不适应等缺点导致的在管道泄漏检测中灵敏度不高、检......
结构健康监测受到业内的广泛重视，尤其是关键部位紧固件预紧力的精准检测和实施监测。压电传感器是实现超声波高精准度无损检测紧固......
直立型石墨烯（VG）是在基板上竖直生长的石墨烯材料,这种独特的构造使其在传统石墨烯优异的导电性、导热性、化学稳定性和高的比表面......
超级电容器因其充放电速度快、使用寿命长、循环稳定性好、体积小、功率密度高,被认为是很有前途的可充电电池替代品,正逐步应用于......
心率信号和呼吸信号在一定程度上反映人体心肺功能健康状态,针对人口老龄化和人体亚健康问题日益严重的社会现状,对人体心率和呼吸......
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器（HBAR）,研究了钪（Sc）掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明，当掺......
随着物联网的快速发展,智能监测和无线传感技术得到了广泛的发展,传感器作为互联网络的关键一环,一直就是研究的热点。声表面波（Sur......
目前国内对于压电式切削测力仪研究成果较少,国内使用的切削测力仪大多为国外进口。而且价格昂贵。因此,本课题针对实验室数控机床......
声表面波（Surface Acoustic Wave,SAW）传感器是利用压电效应和声表面波传播的物理特性制成的MEMS器件。传统Si基MEMS应变传感器无法......
该文采用磁控溅射法在蓝宝石基片上制备出高择优取向的极薄氮化铝(AlN)压电薄膜.使用原子力显微镜(AFM)和X线衍射仪(XRD)分析了AlN......
本文通过悬臂梁实验和COMSOL仿真验证了该材料有良好的压电特性，具有较高的横向压电系数，实验测量和仿真计算为该材料的应用提供了有......
本文介绍一种用于测量牙咬力的传感器—压电簿膜力传感器.它应用压电薄膜受到机械应力产生电极化,从而产生电荷的原理来测量牙咬力......
基于铌酸锂(LiNbO3)的声表面波(SAW)滤波器件已经在射频移动通讯设备的前端实现了商业化应用。随着移动通讯技术的迅猛发展，基于LiN......
基于压电薄膜的MEMS器件是未来可植入声电混合激励式助听设备中的潜在核心部件，具有广泛的应用前景和重要的研究价值。目前，基于压电......
电阻应变片在用于船舶与海洋结构物应变测量时，存在必需清除结构表面涂层、连接和维护大量导线，工作量繁重等缺点，而且其使用寿命也非......
利用溶胶-凝胶法普通载玻片衬底上制备出了铝离子掺杂的氧化锌(ZAO)透明压电薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)对制备的薄膜进行了表......
分析了半无限大弹性基体上粘接有质量层的压电薄膜的压电层状结构中Love波的传播特性.基于线性压电弹性理论得到Love波的控制方程.......
飞片速度是爆炸箔起爆系统的关键性能参数.利用FROTRAN程序建立金属电爆炸驱动飞片的一维速度模型，能够计算出飞片的加速历程，利用压......
硅微压电传声器相对于电容传声器具有制备工艺简单，不需要复杂的气隙制备工艺;工作时，利用的是压电薄膜的压电效应，因此不需要偏置极......
本文所描述的空间微小碎片探测器采用PVDF压电薄膜作为传感器,所探测的目标为质量分布5 × 10-11 g(直径约3.3um)～1 × 10-5 g(直径......
为增强聚偏氟乙烯—六氟丙烯(PVDF-HFP)的压电效应,以纳米氧化锌(ZnO)作为填充物,运用等离子对纳米ZnO进行表面改性,采用刮涂法制......
期刊
随着第三代通讯技术的发展，声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高，从最初的几MHz发展到现在的几GHz。高频应用系统的不断发展显著增......
随着我国数字印刷行业的不断壮大和发展，数字印刷在行业中发挥着越来越重要的意义和作用。喷墨印刷作为数字印刷的主要工作方式，是一......
通过优化K波段声体波换能器设计,突破200 nm极薄压电薄膜制备和微带线匹配等技术,研制了K波段体声波延迟线样品。研究结果表明,样......
薄膜体声波谐振器是GHz频段的“晶体谐振器”，可用来构成射频前端的滤波器、双工器以及低相噪的射频振荡器等，在现代通讯系统中具有......
会议
在声学微电子机械系统中,硅微传声器有着重要地位,也具有使用前景.目前,硅微传声器主要有两种结构,即硅微电容式传声器和硅微压电......
本文介绍了一种基于圆形振动膜结构的硅微压电超声换能器的设计与制造.该传感器的振动膜直径为500 μm,氮化硅薄膜厚度约为1 μm,Z......
产生高稳定频率控制信号的器件通常要求在谐振模式上具有高Q值.常用的器件有晶体器件,表达声波器件和微波谐振器件等,但是这些器件......
使用压电薄膜(PZT)制造微机电系统传感器具有结构简单、灵敏度较高的特点,所以其研究受到了很大的关注.本文研究了一种在硅基上铺......
一、概况 所谓“压电塑料”,简言之就是“具有压电效应的塑料”。它是以具有电荷分布不对称中心的结晶高分子化合物为主体的柔性......
据报道,日本Yasuhiko Nakagawa和Yasuo Gomi用磁控反应直流二极管溅射法将Ta_2O_5,沉积在石英基片上,得到了单晶薄膜,并且首次观......
PVDF压电塑料薄膜具有许多独特的优点,如与PZT比较,压电系数大,频响宽,机械强度好,柔软,轻质,耐冲击,易加工成大面积膜,价格低廉......
我们知道,能量都是可以相互转化的,可在生活中有不少能量转瞬即逝。能不能保存这些能量,再把它们转化为电能储存在电池里?在这样一......
本文提出了压电薄膜微马达的工作原理，介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺，最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。......
报道了采用光学铌酸锂晶体作声光介质，氧化锌压电薄膜相位阵列换能器制作的高频宽带声光布喇格器件。达到的主要结果是：中心频率２．２５ＧＨｚ，瞬时......
简要介绍了高次谐波声体波谐振器的独特优越性和发展概况。用有关高次谐波声体波谐振器的设计理论进行了设计。报道了对高次谐波声......
采用PVDF压电薄膜应力传感器对精冲ASTM 1020板料过程中板料表面接触应力进行测量。测量结果发现接触应力共出现2次波动:第1次波动......
设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器,其中心频率为400MHz,叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅......
美国佐治亚理工大学(Georgia Institute of Technology)在2012年6月举行的MEMS(微电子机械系统)相关国际学会上宣布,试制出了可在3......
根据压电测量的基本原理。制作了压电薄膜传感器，对装配条件下三种填料１５种组合形式的轴向压力和侧向压力的分布进行了测试，在此基础上......
用射频(RF)反应磁控溅射法,在硅基片上制备出了具有较低表面粗糙度、C轴择优取向的AlN压电薄膜.讨论了溅射功率对AlN压电薄膜结构......
