吸合效应相关论文
微机电系统（MEMS）以其体积小、质量轻、响应快、能耗低等一系列优点被广泛应用于航空航天、汽车、生物医学等领域,并逐渐形成了一个......
微机电系统(MEMS)的研究已经发展成为前沿性、多学科交叉的高科技领域。研制MEMS器件可以大大推进现有装备的小型化、自动化、智能......
残余应力是微机械表面加工过程中不可避免的,残余应力的存在会影响微机械器件的性能。通过引入等效力学模型,推导出残余应力作用下......
随着微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)的快速发展,这些技术已经日趋成熟并逐步投入实际应用。现如今,许多MEMS和NEMS器件已经在......
静电驱动凭借其较好的结构稳定性以及灵敏度成为优先选择的谐振器驱动方式，裂纹的存在会导致系统动力学特性的改变，而斜裂纹是机械结......
设计并制造了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜,此变形镜采用了三个多晶硅结构层和一个金属反射层的设计。利用表面硅工艺完......
该文基于计及边缘效应的矩形平行板静电力计算公式，建立了扭转微镜的非线性静力学模型，分析了边缘效应对微镜静态特性和吸合特性的影......
随着微机电技术的兴起和发展,功能各异的微机电器件已经被研制,在生物医药、航空航天、汽车等领域都有着广泛的应用。微梁是在微机......
在MEMS静电执行器设计中,由于吸合效应的存在,导致微执行器调节范围受到限制。首先,对微执行器吸合效应产生的原因及其影响进行了......
