【摘 要】
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电镀已经成为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术中的一种重要加工手段,相比于传统意义的表面处理作用,MEMS技术中的电镀主要用于制作微结构.介绍了几种常用的以电镀为核心方法的微结构加工工艺和它们的应用领域.微结构加工工艺包括LIGA/UV-LIGA、EFAB、PolyStrata、TSV/TGV、MetalMUMPs等,结合设计好的光刻、镀膜、刻蚀等辅助微工艺技术,能够完成具有超高深宽比、多层堆叠、悬空、可动等特点的复杂三维金属微结构,并针对不同的使用需求,可以实
【机 构】
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北京遥测技术研究所 北京 100094;北京科技大学 北京 100083
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电镀已经成为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术中的一种重要加工手段,相比于传统意义的表面处理作用,MEMS技术中的电镀主要用于制作微结构.介绍了几种常用的以电镀为核心方法的微结构加工工艺和它们的应用领域.微结构加工工艺包括LIGA/UV-LIGA、EFAB、PolyStrata、TSV/TGV、MetalMUMPs等,结合设计好的光刻、镀膜、刻蚀等辅助微工艺技术,能够完成具有超高深宽比、多层堆叠、悬空、可动等特点的复杂三维金属微结构,并针对不同的使用需求,可以实现典型的微机械结构、惯性传感器、射频器件、异构集成、系统散热等功能应用,具有广泛的实用意义.
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针对传统的卫星测控射频信号处理中存在的过程复杂、通道数量不多等缺点,提出了采用射频数字化技术,直接在上下行射频与基带之间进行信号转换,大大简化了射频前端设计;针对多路频分宽带信号,设计了二级滤波模式,较好地适应了多种卫星测控体制的需求;采用了超奈奎斯特架构,有效提升了前端的集成度及可靠性.
针对当前微带天线传感器应变测量灵敏度较低的问题,对基质结构进行研究,设计了一种带空气层的复合基质天线传感器.结合遗传算法应用HFSS软件对传感器结构参数进行优化设计,仿真研究最优解下的复合基质天线传感器“谐振频率-应变”关系.对所设计的复合基质天线传感器进行拉伸对比试验,其应变测量灵敏度是传统微带贴片天线传感器的3.19倍.仿真和试验结果均表明,带空气层的复合基质天线传感器,能够带来应变测量灵敏度的提高.
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由于Ka频段遥测设备天线波束较窄,存在高速飞行目标跟踪困难的问题,通过对遥测设备跟踪需求分析,研究了前馈复合控制在遥测跟踪中的应用,计算出前馈复合控制中开环增益的合理取值,改善了遥测设备跟踪高速飞行Ka频段目标时跟踪迟滞情况,缩短了捕获目标需要的时间,提高了设备成功捕获、平稳跟踪目标的能力.
针对火箭遥测实时处理软件中不同位跳变指令处理代码复用性差的问题,通过分析几种典型的位跳变指令处理特点,抽象出位跳变指令处理的一般步骤,并从软件角度给出了位跳变指令的定义.根据C++语言多态性原理,将位跳变指令的软件实现划分为抽象基类和实现子类两个部分,规范了位跳变指令的处理逻辑、体现了不同种类位跳变指令处理特点.应用实践表明,经过重构的处理方法代码量显著减少,程序处理流程更加清晰,软件复用率有很大提高.
在轨卫星数量呈爆发式增长.在应用方面,亟需提升海量卫星并行管理能力和自动化、智能化水平.设计并构建了一种基于知识和大数据的航天器在轨管理云平台,通过工程实际应用,验证了系统设计的可行性,实现了200余颗在轨航天器的并行管理,可以为我国未来复杂星座星群的高效运行管理提供参考.
为挖掘烟草青枯病抑病型土壤有益微生物资源,通过大田试验分析了不同海拔高度抑病型和导病型土壤的微生物群落结构以及青枯菌、拮抗菌等的相对丰度.结果表明,与导病型土壤相比,烟草青枯病抑病型土壤中有益细菌门放线菌门(Actinobacteria)、厚壁菌门(Firmicutes)、蓝藻门(Cyanobacteria)和有益真菌门接合菌门(Zygomycota)、壶菌门(Chytridiomycota)的相对丰度较高.在属水平上,抑病型土壤中一些有益微生物中慢生根瘤菌属(Mesorhizobium)、亚硝化螺菌属(
压控振荡器VCO(Voltage Controlled Oscillator)是输入控制电压影响输出频率的振荡电路,可用于产生调频信号.应用于安检成像时,其输出信号的线性度通过影响副瓣电平和距离分辨率,从而决定了安检成像的效果.为了提高安检成像效果,提出了一种基于多项式拟合的VCO开环线性校正法,使VCO的输出频率通过分频器,并对分频后的信号进行滤波和AD采集,通过在FPGA中进行数字信号处理获得VCO输出射频信号的非线性信息,并通过修正DA输出的电压信号实现对VCO的校正.该方法与系统发射线性调频连续波
为检测混合烟叶中红花大金元烟叶,设计了红花大金元品种特异性引物与TaqMan MGB探针,检测了引物和探针的特异性和灵敏性,确定了荧光定量PCR反应条件,并在此基础上建立标准曲线对混合烟叶中红花大金元单一品种进行定量检测.结果表明,引物与探针组合H1-R/F/T的特异性较好,建立了标准曲线方程,决定系数R2为0.997.当DNA(55 ng·μL-1)模板含量为2μL时,红花大金元的检测限可达0.11 ng.利用该方法对混合烟叶样品中红花大金元含量进行检测,误差范围在2.5％～3.5％之间,表明该方法可应
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