离子束辅助沉积相关论文
离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型......
近年来,六方氮化硼（h-BN）因其优异的物理和化学性质吸引了许多物理工作者的目光。关于高质量薄膜材料的生长和性能开发的实验和理论......
真空离子镀膜是在材料表面进行薄膜制备的一种加工技术。真空环境下离子镀膜过程复杂,需要监控的工业参数较多,系统的整体耦合性和......
高反膜已广泛应用于各种激光系统及光学仪器中,然而由于高反膜一般厚度较大,光学元件在镀膜后常常由于薄膜应力而引起较大的面形变......
根据理想摩擦表面模型优化固体润滑薄膜表面模型,利用离子束辅助沉积结合低温离子渗硫设计制备了Mo-C-S复合固体润滑膜.采用X 射线......
为了得到高损伤阈值基频减反膜的制备方法，研究了阶段离子束辅助制备方式对薄膜性质的影响。首先采用电子枪蒸发及离子束辅助沉积制......
本文采用离子束辅助沉积方法在室温下在蓝宝石衬底上制备了双轴取向的YSZ和CeO2/YSZ薄膜,其X射线(111)ψ扫描半高宽(FWHM)的最佳值......
本文采用离子束辅助沉积方法在行波管的钨质栅网上沉积铪膜.在高真空的环境下,模拟行波管的工作条件,对不同设备,不同工艺参数沉积......
本文采用离子束辅助沉积法在单晶硅片进行沉积制备了TiN/SiN纳米复合超硬薄膜,研究了辅助束流轰击能量和Ti/Si靶面积比等工艺参数......
MgO是目前使用离子束辅助沉积(IBAD)工艺制备高温超导涂层导体缓冲层的主流材料。研究IBAD-MgO 缓冲层的成膜过程具有重要的意义。......
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面，研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明，相较于电阻加......
采用离子束溅射与离子束辅助沉积技术在医用Ti6Al4V舍金表面制备了双层类金刚石薄膜。分别用原子力显微镜、扫描电子显微镜、Raman......
应用离子束辅助沉积技术(IBAD)在Fe-Cr-Mo合金基体上制备了TiN纳米薄膜.在模拟口腔环境溶液中,对在表面沉积TiN纳米薄膜处理的齿科......
本文叙述了近几年国内外的研究进展，包括激光高反膜几种不同的制备工艺，如电子束蒸发沉积、离子束辅助沉积、离子束溅射沉积和溶胶-......
利用离子束辅助沉积的方法在ＣＫ４５号钢和ＡｌＴｉ合金的基体上制备了具有不同厚度Ａｌ层或Ａｌ２Ｏ３层的Ａｌ／Ａｌ２Ｏ３双层膜系统。Ａｌ与Ａｌ２Ｏ３层之间是厚度为１００ｎｍ的梯度界面层。利用电化......
期刊
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面,研究了沉积工艺对氟化镱（YbF3）薄膜可靠性的影响。研究结果表明,相较于电阻加......
<正>β-C_3N_4是人们根据理论计算而设计的一种目前在自然界尚未发现的新材料.β-C_3N_4具有类似于β-Si_3N_4化合物的晶体结构,其......
金属材抖zr对DZ38LC合金凝固行为和持久性能的影响 ~................……、............……~.·..·..········……~…......
将氮化硅陶瓷的样品经过抛光、清洗、退火等处理后，用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ），离子注入对其进行表面处理，所选用元素为Ｔｉ。辅助轰击的离子为Ａｒ＋和Ｔｉ＋，能......
采用离子束辅助沉积方法在Ａｌ２Ｏ３陶瓷衬底上制备了ＴｉＯ２Ｎｂ２Ｏ５氧敏薄膜。考察了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响。电阻氧分压特......
室温下应用Ａｒ＋ 离子源辅助准分子脉冲激光沉积 （０ ０ ２） 取向的 ＹＳＺ过渡层薄膜于ＮｉＣｒ 合金基底上；基底加温至７５０ ℃，用准分子脉冲激光沉积ＹＢＣＯ 高温超导薄膜......
通过IBAD技术制备了MoS2 +Ag(Cu)复合膜 ,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为 6 0 %的大气环境下 ,Cu的掺入加速了......
采用双离子束辅助沉积技术制备了ＴｉＮ 薄膜，并用ＸＰＳ、ＸＲＤ、ＳＥＭ、ＴＥＭ 和努氏显微硬度计等对薄膜进行了分析测试，结果表明，在溅射沉积的同时，Ｎ＋ 离子的轰击......
根据钛宝石飞秒激光器的色散补偿要求设计了单次反射平均补偿量为-60fs2的GT(Gires-Tournois)镜,采用离子束辅助沉积技术结合光学......
为了制备高输出功率的441.6nm氦-镉激光反射镜,研究了氧离子束辅助工艺及退火后处理对ZrO2单层膜及441.6nm氦-镉激光器ZrO2/SiO2反......
ACCI(Accelerated Coated Conductor Initiative)计划的目的旨在联合美国能源部所属实验室、工业界、以及大学共同努力 ,加速 YBCO......
用自制的多功能离子束辅助沉积设备在 2 0Cr和 4 0Cr低合金钢上沉积类金刚石膜。通过失重法、电化学方法研究低合金钢镀膜前后在不......
表面热流的准确测量对传感器响应速度和灵敏度有比较高的要求,原子层热电堆(ALT)薄膜传感器具有显著的优势。但现有的ALT基于单晶......
因出色的磁性能,烧结钕铁硼材料已成为当今最受欢迎的稀土永磁材料,广泛应用于电子、电力机械、医疗器械、航天航空等领域。但是其......
导电型缓冲层能够使高温超导涂层导体自身就能起到失超保护的作用,而氮化钛是目前唯一能用来制备导电型缓冲层的材料。本文采用离......
概述了新型超硬材料——氮化碳(C_3N_4)的晶体结构和合成C_3N_4的实验方法,以及C_3N_4薄膜的TED,XRD,XPS,FTIR,Raman和Hv的测试分......
本文综合分析了立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）膜的制备方法，介绍了ｃ－ＢＮ膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能。最后总结了ｃ－ＢＮ膜在机械和电子领域的应用概况......
利用离子束辅助沉积技术制备TaN薄膜，并对其进行X射线衍射分析。掠入射的X射线衍射分析得出：离子束辅助沉积制备的TaN薄膜是面心立方......
最近美国衣阿华大学 ( Iowa State University)、布鲁克海文实验室 ( Brookhaven National L aboratory)、阿贡实验室 ( Argonne N......
在钇钡铜氧(YBCO)高温超导涂层导体制备路线中,离子束辅助沉积技术(IBAD)是两大主流技术路线之一,取得了最为突出的研究成果.本文......
采用卷对卷装置通过直流反应磁控溅射法在离子束辅助沉积(IBAD)的MgO上生长获得了纯c轴织构的LaMnO_3(LMO)帽子层,详细研究了不同......
介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。
This paper introduces the composition princ......
用离子束辅助沉积方法合成Ｆｅ－Ｎ薄膜，用离子束背散射和Ｘ射线衍射方法分析薄膜成分和结构．结果表明，薄膜的组分（α－Ｆｅ，ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－Ｆｅ（２－３）Ｎ，γ＇－Ｆｅ４Ｎ相等）取决于沉积参数。......
采用蒸镀、离子束辅助沉积（IBAD）技术，在Al2O3（单晶、多晶）和玻璃基片上沉积钼膜，通过XRD，TEM等分析手段对于钼膜的织构及其产生机理进行......
在室温下分别采用射频磁控溅射和离子束辅助沉积技术沉积Ｃ－ＳｉＣ薄膜，并进行了相同注量和相同能量的Ｈｅ￣＋辐照试验。分析结果表明：两种不同方式制......
采用中能离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）技术，在单晶Ａｌ２Ｏ３（０００１）基片上沉积Ｍｏ膜，在ＧａＡＳ（００１）基片１２合成Ｆｅ１６Ｎ２薄膜用ＨＲＥＭ等研究了Ｍｏ膜－Ａｌ２Ｏ３（０００１）、Ｆｅ１６Ｎ２膜－ＧａＡｓ（００１）界面的显微结构结果表明：Ｍｏ膜的晶粒呈细小性状或纤维......
综述了Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２功能薄膜的性能、用途、制备技术及国内外研究概况；展望了其今后的应用前景并提出了需要解决的问题。
The properties, ap......
在有和无离子束辅助两种情形下 ,在冷轧Ni基底上制备了CeO2 薄膜 ,结果表明 ,无离子束辅助沉积时 ,薄膜表现出 (111)取向 ,在离子......
采用逆序法研究了通过活性反应离子镀技术沉积在单晶硅 (10 0 )上的c BN膜生长过程。在X射线光电子能谱分析仪上 ,用氩离子剥离c B......
