因出色的磁性能,烧结钕铁硼材料已成为当今最受欢迎的稀土永磁材料,广泛应用于电子、电力机械、医疗器械、航天航空等领域。但是其耐蚀性较差,在工业生产中通常需要电镀防腐涂层进行防护。近年来随着中国对环保和排放的重视,磁控溅射因其对环境友好、所制备薄膜结合力好而被认为是电镀工艺的有效替代品。然而,磁控溅射制备的纯铝薄膜虽然腐蚀防护性能很好,但是力学性能较差,影响钕铁硼的使用寿命。因此,研究磁控溅射防护薄膜制备技术,改善磁控溅射铝薄膜的力学性能,对推广磁控溅射在钕铁硼防护上的应用有着重要意义。本文主要研究了离子束辅助沉积的Al薄膜以及Al-Ti薄膜的制备,考察了离子源、偏压、沉积方法、溅射功率等对薄膜结构、力学性能和电化学性能的影响,采用离子束辅助沉积制备了Ti含量为1.2at%-8.9at%的一系列Al-Ti合金薄膜,探讨了钛含量对Al薄膜结构、硬度、耐磨性能和腐蚀性能的影响。结果表明:基体上加偏压可以细化铝薄膜晶粒,离子束辅助沉积可以促进Al薄膜晶粒结构从柱状晶向等轴晶转变,同时提高薄膜的致密度,减少缺陷。离子束辅助沉积的纯铝薄膜腐蚀电流较钕铁硼基体降低一个数量级,抗蚀性能好,但硬度仅为0.7GPa。采用样品台旋转(8 rpm)、离子束辅助沉积(功率150V×1A)、铝及钛靶共沉积的工艺可以获得致密、均匀、结合力好的Al-Ti合金薄膜,并且通过调整钛靶溅射功率(0W~240W)可以实现薄膜钛含量的控制。随着薄膜中钛含量的增加,薄膜的结构更加致密,晶粒尺寸有所减小。SEM和TEM结果表明钛的加入主要形成了均匀Al-Ti固溶体结构,但随着钛含量的增加,钛形成一定程度上的聚集。同时,随着钛含量的增加,薄膜的硬度和耐磨性相较于纯铝薄膜有着明显的提升,当Ti含量为4.3at%的时候,硬度约为纯铝薄膜的四倍。极化曲线以及交流阻抗测试结果表明,Al-Ti合金薄膜的耐蚀性相较于纯铝薄膜也有着一定的提升。当薄膜中钛含量为4.3at%的时候,薄膜的耐蚀性最好。