离子轰击相关论文
GaN基半导体材料在紫外/蓝光/绿光发光二极管、激光器、探测器,以及高频高温大功率电子器件等方面有着重要而广泛的应用.目前,高质......
在场发射器件中，比如场发射显示器件，阴极的跌落是一个影响器件寿命的关键因素，而阴极在工作过程中受到的离子轰击可能导致阴极的跌落......
CH4、NH3和H2为反应气体,利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统在无和有辉光放电的条件下制备了不同结构的碳纳米尖端,并用扫描电子......
该工作比较系统地在广阔的能区内（从MeV到GeV）研究荷能离子轰击固态材料形成孤立损伤的形态及其形成机理。分别利用具有原子分辨能力......
本文主要通过利用扫描电镜、能谱仪以及X衍射分析仪等手段,对Ti原子向SiN陶瓷界面作定向扩散的现象,作了较全面的表征和分析.......
积极将配套高新技术引入到船机修造中,有助于船舶产业生产水平的发展。基于此,本文详细阐述了表面强化改性高新技术、离子轰击渗广......
本文利用卢瑟福背散射及沟道（ＲＢＳ／Ｃ）技术，二次离子质谱（ＳＩＭＳ）技术等研究了ＭｅＶＳｉ离子束轰击对ＢＦ２注入Ｓｉ样品特性的影响．结果表明，退火后在ＢＦ２注入形成的ＰＮ结结区内仍......
近十余年来,由于各种科学技术的需要,超高真空技术得到了很大的发展。与此同时,在超高真空技术中出现的问题也越来越多。在超高真......
前言六硼化镧(LaB_6)是近20年来新发展起来的一种阴极发射材料,它具有优异的电子发射性能,它的电子逸出功低,电子发射密度大,能在......
非晶态合金形成的理论、制备方法和应用,近年来受到人们广泛的重视.目前国内已有专著介绍[1],制备非晶态合金的常规方法是液态急冷......
在用直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石薄膜中,用透射电镜观察到了大量的环形和螺旋形的碳结构。螺旋平卧在薄膜平面方向,其直......
We present a computer simulation study on the influence of incident ions on the energy transferred to primary knock-on a......
Hydrogenated 微晶质的硅(c-Si : H ) 薄电影被劈啪作响的诱导地联合的血浆助手磁控管(ICPMS ) 在 Ar-H2 煤气的混合物扔。在 c-Si......
元素周期表,许多同学都很熟悉,也许它要迎来新成员了。不久前,瑞典科学家宣称发现了第115号元素存在的新证据。第115号元素目前暂......
本世纪30年代,新冶金术中具有最大吸引力的是周期表超铀的可能扩展。费米(EnricoFermi)。意大利的天才人物,E.费米(Fermi)领导一......
采用聚焦离子束注入和反应离子刻蚀ＳｉＯ＿２的干法光刻ＤｒｙｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｕｓｉｎｇｆｏｃｕｓｅｄｉｏｎｂｅａｍｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄｒｅａｃｔｉｖｅｉｏｎｅｔｃｈｉｎｇｏｆＳｉＯ＿２［刊，英］／Ｃｈｏｑｕｅｔｔｅ，Ｋ．Ｄ．… ∥Ａｐｐ...
Dry lithography using focused ion beam implantation and reactiv......
本文运用气体放电理论，对双层辉光离子渗金属工艺条件下，气体的电离度，离子轰击能量及密度、辉光放电功率耗散等方面的一些问题进行了......
沉积在云母片上的纯Ｃ６０薄膜受２０ｋｅＶ的Ｌｉ＋和Ｎ＋２离子轰击，剂量在０．５×１０１６／ｃｍ２～５．０×１０１６／ｃｍ２之间改变，测量了离子注入后Ｃ６０薄膜方块电阻随温度的变化，进而推导出Ｃ６０薄膜电导率随温度......
本文对ＧａＡｓ光电阴极片ＵＨＶ系统中原子级表面清洁方法做了研究，它们是：光加热法、直接加热法、离子轰击加退火法、热子加热法，表面清洁效果用装......
本文介绍用离子束增强沉积（ＩＢＥＤ）法在硅片上制备氮化硼（ＢＮ）薄膜及镀膜参数对膜中立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）含量的影响的试验研究，主要研究轰击离子束密、镀膜......
介绍了中小规模逻辑电路的单粒子效应实验。单粒子效应实验是在中国原子能科学研究院核物理国家实验室的ＨＩ－１３型串列加速器上完成的。用......
利用常规的ＬＥＥＤ和高分辨率的ＳＰＡ－ＬＥＥＤ技术研究了标称（３３７）的Ｓｉ表面原子结构．经过反复的离子轰击（７００ｅＶＡｒ＋）和１３００Ｋ退火之后的这种表面形成稳定的（５，５，１２）晶面，即结构周期为（３３７）＋（２２５）＋（３３７）的有序......
本文对射频溅射法淀积的ａ－ＳｉＣ∶Ｈ膜热退火形成６Ｈ－ＳｉＣ相进行了研究．我们采用红外透射谱、喇曼背散射谱和Ｘ光衍射谱来研究退火形成６Ｈ－ＳｉＣ的过程．在较高的射......
为制备Ａ１／ＰＺＴ／Ｐｔ／Ｔｉ电容，研究了采用ＳＦ６／Ａｒ等离子体对Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３及Ｐｔ／Ｔｉ底电极进行反应离子刻蚀（ＲＩＥ）的技术．较系统地研究了ＲＦ功率，ＳＦ６／Ａｒ流量比及气压对刻蚀速率的影响，找到了对ＰＺＴ及Ｔｉ进行......
采用射频（RF）磁控溅射的方法，成功地在（100）单晶硅片上沉积制备出了高品质的c-BN薄膜，并通过对基片的高能离子束的预处理，有效地改善了c－BN......
本文研究了离子轰击加热时工件的温度不均匀性问题。试验证明:影响温度不均匀性的主要因素是工件的形状因素。工件不同形状部位的......
本次会议于9月18日在北京机床所一分所举行,技术委员会主任石康才高工主持会议,计有8单位11名同志参加.与会委员分别介绍了本单位......
本文介绍了重离子解吸质谱计的基本原理和结构,它是用~(252)Cf或加速器产生的快速重离子轰击样品使分子解吸成离子,然后用飞行时间......
当用串列加速器加速重离子时,用固体剥离膜代替气体剥离器,可获得较高的电荷态,从而提高离子束能量。我们用直流辉光放电裂解乙烯......
沈阳市科技服务开发协调中心(原沈阳市技术服务公司),和沈阳市热处理学会磋商组建成立沈阳离子轰击热处理中心。加速离子轰击热处......
大连市机械工程学会热处理分会与大连市总工会技术协作队热处理组,于1981年10月13～15日联合召开了离子轰击热处理技术座谈会。参加......
由于拖拉机机组功率和工作速度的增大,传统的强化方法已不能保证对耐磨性的日益增长的要求。使零件的工作表面获得专门的耐磨覆盖......
从60年代末离子渗氮应用于生产以来,离子化学热处理作为新兴的化学热处理的一个分支,得到了迅速的发展,对其基本特点、物理本质、......
在振动和冲击负荷均较强烈的条件Mo_2N和TiN的硬质合金刀片,可果,认为用离子轰击凝聚法涂层作特点进行了研究。根据研究结制造的......
本文介绍用离子轰击法显露锌单晶体基面上的亚结构。对单晶体中的杂质亚结构;辉纹亚结构及形变退火亚结构进行了观察,并且还观察到......
我们曾用二次离子质谱实验和量子化学计算研究Mg_2~(2+)和Mg~+的相对稳定性,得到实验与计算一致的结果。本文报道我们用类似方法......
辉光放电原理在化学热处理过程中的应用,开拓了一个具有很大发展前景的离子轰击化学热处理领域。尽管苏联在这方面还不能列入国际......
中国机械工程学会热处理学会工艺组和湖北省机械工程学会热处理学会联合邀请了国内在离子轰击热处理,尤其是在离子氮化的研究和生......
离子轰击化学热处理具有省电、省气、速度快、无公害及质量可控等优点,其中离子渗氮已成功地应用于生产。但对于处理温度较高的离......
一、概述离子注入工艺现已用来改进钢和其它金属及其合金的磨损阻抗。1979年我们的实验表明:将氮离子注入到钢中可以明显地改善钢......
在相同的氨流量和氨压下,进行气体氮化与离子氮化的对比实验,证明离子氮化比气体氮化的效果好。用X射线衍射仪法和金相法观察离子......
