氧等离子体相关论文
论文考察了不同条件下氧等离子体对大肠杆菌的灭活作用,并通过对紫外光的单独灭菌效应研究、细菌DNA电泳图测定、菌体超微结构的分......
自氧化铪(HfO2)基铁电材料问世以来,其优异的铁电性能被人们所熟知,逐渐被广泛应用到电子元器件中。相比于传统钙钛矿结构铁电薄膜,H......
氧化铪基铁电存储器凭借其与现代半导体工艺的完美兼容、环保无污染、铁电薄膜物理厚度小、功耗低等优异特性,近年来成为科研界和......
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,红外光谱测试表明,所有样品为六角氮化硼(h-BN)结构.经过氢、氧等......
描述了一种结合光刻和热键合工艺制作压电喷墨腔室的工艺方法,并对喷墨腔室的键合质量进行研究.首先在Si基底上制作完全交联的SU-8......
以辉光放电产生的低温等离子体,其电子温度T_g≥10~4K,而气体温度T_g接近4×10~2K。在我们的工作里,等离子体处理是在一气体流动......
等离子化学是使物质激发至等离子状态进行反应而得到化合物的一种方法。其中高温等离子体,如电弧放电及等离子射流等,由于相当高......
高频感应等离子体技术是近十多年发展起来的一门新技术,由于它具有无电极污染,弧区大,温度均匀,能提供纯净热源,工质不受限制等特......
低温等离子化学,是化学的一个新领域。它是利用无机或有机气体,在低压下放电所生成的活性物种来进行化学反应,已经在半导体集成电......
低温等离子体作为一项新技术、新工艺,10余年来已受到人们的极大重视。其应用范围正在日益扩大,国内外对低温等离子体在纺织上的应......
橡胶工业填料炭黑改性的主要目的在于:(1)确保其表面有适当的极性,使之与橡胶基质有更好的相容性;(2)使炭黑表面富含各种官能团或......
茶叶中微量元素的测定,已有不少报道。本工作用氧等离子体低温灰化炉灰化茶叶试样,灰化温度低(150℃以下),易挥发元素损失少,试剂......
激光一般用来去除金属导体上覆盖的有机绝缘材料。这项工作大多通过CO2和准分子激光器来完成,但有些公司提供固体激光器的工具成品......
红外吸收谱分析表明,聚硅烷Polymethylphenethylsilane(PMPES)在氧等离子体处理后转变成PSiOx膜,PSiOx中的x在1.5-2.0之间,其高频C-V特性曲线的平带电压为正,大小与氧等离子处理条件和PMPES厚度有关......
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。......
针对在M EMS加工中所要求的低温键合,提出了一种用氧等离子体激活处理来降低退火温度的低温硅片直接键合技术。研究了低温SDB的特性并得出......
内蒙古自治区伊克昭盟东胜市东胜煤田,是我国近年来发现的大型煤田之一,其可观的储量,良好的煤质,以及可采煤层稳定,开采条件简单......
概述钛白是一种优质的白色涂料与填充剂。用高频感应氧等离子体加热氧化制取钛白的生产过程中,在TiCl_4原料中加入晶型转化剂AlCl......
本文提出一种同时分析大气飘尘中30种痕量元素的定量方法。用薄膜滤纸抽滤3.6~13.5m~3的空气。滤纸在自制的低温氧等离子体灰化装......
前言 生物样品中微量元素分析往往需预先经过干燥和灰化处理。了解在干燥和灰化过程中生物材料中微量元素的损失,对于选择正确的......
通常消化的方法有在氧等离子体中温灰化,高温灰化以及在酸中低温湿消化。但这些方法均不完善。在氧等离子体中低温灰化的设备昂贵......
本文对比了用氩等离子体和氧等离子体预刻蚀电极的情况,认为在电极表面是否有含氧基团存在对氩等离子体聚合制备修饰电极影响不大......
对低温氧等离子体改性聚氯乙烯超滤膜的结构和性能变化进行了研究.实验证明:经氧等离子体处理的聚氯乙烯超滤膜表面生成了含氧基团......
采用等离子体增强原子层沉积技术在Si衬底上制备了HfO2栅介质薄膜。为了抑制HfO2薄膜与Si衬底间界面层的生长,首先对Si衬底进行了......
采用射频容性耦合氧等离子体改性聚乙烯表面,射频等离子体功率200 W、处理时间10-60 min,获得了具有纳米线结构的聚乙烯表面。......
本论文使用沉淀法制备氧化锌(ZnO)纳米花随后对丝网印刷电极(SPE)进行修饰,并以此为基底提出使用氧等离子体技术处理ZnO电极用于对......
便携式电子产品的普及和电动交通工具的快速发展对传统锂离子电池等储能设备/器件的性能提出了更高的要求。石墨烯,因其优异的物理......
第三代半导体有着非常广阔的发展及应用前景,但对封装散热提出更高的要求。半导体封装结构中,芯片产生的热量首先通过固晶材料传导......
采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究。用X射线光电子能谱检测光栅......
传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂且难以控制,制作成本高,周期较长,因此提出一种制作光栅的新方法。通过氧等离子......
基于艾琳方程,提出用于定量分析纤维表面和纳米涂覆层间的纳米界面结构的理论模型.实验结果表明,纤维高分子链段受力塑性变形时,纳......
采用硅烷偶联剂对纳米Al2O3进行表面处理并在聚酰亚胺(Polyimide)基材表面制备出纳米氧化铝增强有机硅涂层。用热阴极灯丝放电产生......
为改善竹塑复合材料表面润湿性能,开发强度高、粘接性能较好的竹塑产品,以竹粉、PETG和MAPE为原料制备竹塑复合材料,利用等离子体......
GaAs的电子迁移率比si高五倍多,因此GaAs MISFET器件的工作速度更快,使用频率更高。制备高效MISFET,必须在GaAs上形成良好的绝缘......
原子氧是低地球轨道飞行器表面材料退化的首要因素,已越来越被人们所重视。国外已进行过多次飞行实测,并建立了许多地面模拟设备,......
研究了氧等离子体对海藻酸钠膜的表面改性,并将该膜用于渗透汽化分离乙醇水溶液。通过红外光谱、表面电阻、接触角等手段测试,表明......
用低温氧等离子体处理聚乙烯膜,被处理的膜通过红外、表面接触角、电子扫描显微镜、元素分析等手段证明在其表面形成了多量的羟基、......
金属氧化物薄膜具有良好的光学、电学特性,因此是卫星表面热控材料防静电积累的重要材料之一.实验研究发现这些金属氧化物薄膜还具有......
用苯作源气体在一个微波电子回旋共振等离子体系统中沉积了含氢非晶碳薄膜 ,研究了沉积参数对膜的生长速率的影响。为了探索该种薄......
为提高细旦涤纶的染色上染率,采用氧低温等离子体技术对其进行了改性研究。探讨氧等离子体放电时间、放电气压和放电功率对细旦涤......