LIGA技术相关论文
本文利用ICP硅深层刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模板.与一般的LIGA掩模板比较,该掩模板的最大特色在于其支撑层和吸收层都是由......
本文介绍了中国科技大学国家同步辐射实验室的同步辐射光源深度光刻光束线和实验站,深度同步辐射光刻实验的初步结果.得到了厚为1m......
深度光刻技术是LIGA技术的关键和核心,该技术的研究是一个综合过程,包括光源性能,曝光设备性能,光刻胶性能,显影技术等多方面的影......
实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在......
同步辐射光刻技术是X射线光刻技术的重要发展,适用于深亚微米乃至纳米级图形的 超微细加工,特别是LIGA技术的出现大大拓展了同步辐射光刻......
简要介绍了利用LIGA技术中同步辐射光刻、微电铸技术制作α粒子编码成像波带片的研究,讨论了编码波带片的结构和影响波带片的平面和层析......
文报道了近几年来 LIGA技术的改进 (如制备活动微结构和特殊形状侧壁以及与集成电路的准单元集成等 ) ,描述了用 L IGA技术制备的......
论文就微行星齿轮减速器的选型进行了分析,采用了微3K-2型行星齿轮减速器;对微行星齿轮减速器的配齿与建模进行了设计;对微齿轮的......
LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法。将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质......
在航天、国防、医学、核物理等领域,有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下,精密机械加工、 L I G ......
介绍了一种超微细加工新方法-LIGA技术,并就LIGA技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论,同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果。LIGA技术......
本文利用ICP硅深层刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模板.与一般的LIGA掩模板比较,该掩模板的最大特色在于其支撑层和吸收层都是由......
该论文的主要工作包括以下三方面内容:1.综述微系统技术,重点论述微系统技术中的LIGA技术和用LIGA技术制作微型加速度传感器的工艺......
微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要......
深度光刻是LIGA工艺的核心技术之一,是获得高精度大高宽比微结构的关键工艺。随着LIGA技术在微电子机械系统加工工艺中的广泛应用,尤......
该论文对LIGA技术进行了较详细的综合论述,给出了许多研究成果.包括了掩模的制造, 同步辐射性能,深度光刻技术,深度电铸技术等.LIG......
介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中 ,X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成 ,微齿轮图......
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用......
在我国制造行业飞速发展的过程中,微机械制造工艺已经在各个行业领域之中得到了广泛的应用,而这一制造体系本身也是目前人类社会极为......
简要描述了新开发的准分子激光微加工装备的结构特点 .系统地研究了准分子激光直刻高分子聚合物的机制及其与微结构制作精度的关系......
简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明......
重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展......
报道了一种采用电镀方法制作活动微结构的牺牲层工艺 ,该牺牲层技术可用于微电子机械装置中活动部件的制作。利用电镀形成Zn牺牲层......
本文论述了标准LIGA技术的工艺过程,对重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了近年发展起来的准LIGA工艺技术,同时重点研究了利......
<正>LIGA是德文:LI(Rontgen Lithogra-phie)、G(Galvanik)和A(Abformung)三词词头拼合而成.意思是X射线光刻、电铸成型和塑料铸模......
通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究,获得了侧壁光滑、陡直、厚度达100μm,深宽楷比达20的光刻胶和金属微结构,表明......
简要介绍了LIGA工艺过程,特点和应用实例。...
介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合,制造可动微结构的工艺方法.并给出了可实现摆动、转动的可动微结构--微执行器、微传感器......
LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢......
介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中,X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成,微齿轮图形的分割及图......
<正> 随着众多消费产品向“轻、薄、短、小”方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的......
1引言在20世纪80年代,随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯......
介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀......
微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术.其中体微加工技术是......
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车......
介绍了微机械系统制造工艺技术,体微机械,表面微机械加工技术,键合技术及LIGA技术,并对这些技术的应用进行阐述。......
近年来,电铸在微细加工中的应用得到了较快发展,尤其在近几年高速发展的LIGA技术的掩模加工和其应用产品中,该技术充分体现出了字的优越性......