论文部分内容阅读
介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合,制造可动微结构的工艺方法.并给出了可实现摆动、转动的可动微结构--微执行器、微传感器和三维加速度传感器的制造过程等应用实例.
LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用
【摘 要】
：
介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合,制造可动微结构的工艺方法.并给出了可实现摆动、转动的可动微结构--微执行器、微传感器和三维加速度传感器的制造过程等应用实例.
【机 构】
：
番禺职业技术学院机械与电子系
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
2001年12期
其他文献
职业院校混合所有制办学是当前高等职业教育研究的持续热点。通过对相关文献的梳理发现,我国对职业院校混合所有制办学的研究主要涉及混合所有制办学的内涵、特点、模式、问
在我国《侵权责任法》出台之前,对共同加害行为中的＂共同＂该如何解释这一问题得到我国学者的广泛讨论,各种学说应运而生。笔者通过对各种学说仔细研究,运用法律体系解释得出共
在我国铁路交通运输业, 内燃机有着非常重要作用. 内燃机使用范围广阔, 检修问题也纳入铁路运输需要考虑的一个重要问题.文章主要对内燃机车中修方面出现的问题做简单分析,
两河口水电站竖井旋流泄洪洞出口挑坎结构复杂,呈左高右低、斜切燕尾的异型状,控制底板体型及平整度难度极大,为保证施工质量,通过研究将底板分段分层分块、台阶法浇筑,严格