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新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究
本文利用ICP硅深层刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模板.与一般的LIGA掩模板比较,该掩模板的最大特色在于其支撑层和吸收层都是由......
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刻蚀工艺
掩摸板
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微电铸
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