微机电系统技术相关论文
基于微流控的液滴发生是数字聚合酶链式反应（PCR）等分子生物学检测数字化的基础。研究了一种新的微流控法制备微液滴，采用微流控与热......
The Medical Research Council and the UK Clinical Research Collaboration awarded a ＃4 million grant to the consortium of a......
After many years developing, MEMS is getting blooming in consumer filed and become one of the driving force of new appli......
MEMS Industry is growing double digits now and will continue its fast growth for the next decade.Bosch is one of the ear......
本文结合MEMS技术的发展历史,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向.指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条......
专家名片杨克己:浙江大学机械工程学系教授、博士生导师,中国机械工程学会高级会员。主要从事机电一体化、智能检测与信号处理以及......
美国最大的惯导系统制造商霍尼韦尔公司已签署了一份意问书,拟采购波音公司的微机电系统(MEMS)技术及相关的用于惯性制导系统的专......
一架手掌大小的无人机,能像鸟一样地飞行,具有昆虫的智商,可提供10千米远目标的实时图像,这就是正在加紧研制中的微型无人机(M AV)......
描述了一种基于分子电子传感器(MET)技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质......
波长选择开关(WSS)被认为是最重要的波长引擎技术,已成为运营商在下一代网络部署中的关键器件。提出了一种新型的波长选择开关结构......
1微机电系统一般说来，微机电系统（而．croelectronicmechanicalsystem，MEMS）是指可以用微电子等批量加工工艺制造的集微机械与微电子等部......
一概述微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅ－ｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）是指可批量制作的；集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体......
本文利用微机电系统技术实现气敏传感器的主要思想,设计了基于超棱镜效应的光子晶体分光系统,它能够实现高精度的分光,使得光谱仪......
在对光的成分进行研究或者物质发出的光进行分析的过程中，主要使用的分析工具是光谱仪器，它的基本作用是获得光谱信息，其中包括光波长......
空中通信节点技术是现代先进飞行器和多军种联合作战中重要的支撑技术之一,其性能的先进程度直接影响着飞行器的综合性能。在当今......
MEMS开关在无线通信和无线传感领域的有良好的应用前景，是目前MEMS研究中的一个热点。与其他开关结构相比，横向热驱动MEMS开关具有开......
随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)技术的发展，基于MEMS技术的电容加速度计由于成本低、体积小、功耗低，已成为......
微机电系统（MEMS）技术 MEMS这个新技术术语,近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中......
微型飞行器(MAV)是MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题.该文综述了世界各国对微......
研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率......
介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等.这些器件包......
描述了一种基于分子电子传感器（MET）技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质相......
微机电系统（MEMS）技术MEMS这个新技术术语，近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。......
选择Terfenol-D作为微致动器主要材料,采用弹簧对GMM棒施加一定的预压力以获得较大的磁致伸缩应变,采用偏置磁场消除GMM棒的倍频现......
Preparation and Electrochemical Characteristics of Three-dimensional Manganese Oxide Micro-supercapa
以便增加电极表面区域并且提高费用存储能力，我们学习微电镀物品制作三维的高方面比率的机械系统技术微电极的结构基于玻璃。阳极的......
一、微机电系统（MEMS）技术概述MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断......
微机电系统技术(MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的.其微型化、集成化、批量生产和......
微型飞行器 (MAV)是 MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物 ,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题 .该文综述了世界各国......
随着信息技术的发展,传感器作为信息产业的神经触角,将人们从'通信时代'带入到'感知时代'。传感器是数据采集的重......
日前，美国模拟器件公司（ADI）发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。该3轴iMEMS（集成MEMS）Motion Signal Processing技术能将包含薄的、......
大日本网屏制造株式会社最近宣布已完成对Silicon Light Machines公司的收购（“SLM”，总部位于美国加利福尼亚州圣何西市）。SLM是一家......
大日本网屏制造株式会社（总部位于日本东京；总裁：桥本正博）近日宣布已完成对Silicon Light Hachines公司的收购（“SLM”，总部位于美国加......
<正>美国的军事优势在很大程度上仰仗全球定位系统(GPS),而且这种依赖与日俱增。但是GPS卫星发射的导航信号比较弱,而且以固定的频......
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过......
较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器......
为了探索声表面波器件制作工艺，在压电器件工作原理的基础上，通过设计声表面波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数，绘制......
1发展需求随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、......
采用微机电系统（MEMS）技术结合金属辅助化学腐蚀工艺制作出关键结构为纳米氧化硅的阵列芯片,细胞可以定点黏附在纳米氧化硅上。通过......
设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括......
