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简要介绍了微电子机械系统制作的主要技术；体微机械加工技术，表面微机械加工技术、键合技术和微模制成型技术。
微电子机械系统的制作技术
【摘 要】
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简要介绍了微电子机械系统制作的主要技术；体微机械加工技术，表面微机械加工技术、键合技术和微模制成型技术。
【机 构】
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华东交通大学
【出 处】
：
新技术新工艺
【发表日期】
：
1997年6期
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