微细加工相关论文
在毫米级和亚毫米级（THz）频段,微波真空功率放大器在电子对抗、雷达、通信等领域应用广泛,但是当工作频率提高到W及以上频段,行波管......
表面功能结构是在物体表面加工出不同形貌、不同尺度且具有特定功能的结构，其制造有别于传统机械加工。表面功能结构种类繁多、性能......
具有约瑟夫森效应的高温超导异质结在量子干涉器、太赫兹源及检测器等领域具有广泛的应用前景。目前高温超导异质结的制备存在中间......
碳纤维增强复合材料（以下简称CFRP）具有质轻高强、耐磨、耐蚀等特点,现已逐步应用于微机电系统当中作为主要的结构部件。在CFRP实际......
描述了基于硅基微加工技术,用深层刻蚀工艺制造栅距可变的光栅的方法.该光栅具有加工艺简单,栅距均匀可调等优点,可望用于光通讯用......
本文提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,它具有驱动电压低、体积小、结构紧凑,易于集成,能够采用标准的CMOS集成电路作为激励......
本研究之微型气体传感器采用微机电制程技术，采用面形微细加工方式制作出一微型气体传感器，此微型传感器整体体积较一般所使用之传感......
本文针对器件尺寸进入纳米量级存在的问题，提出并完成了两种新结构MOS器件的研制。提出了新型垂直双栅器件，开发了一套与常规工艺基......
本文对H到H模式变换链进行了详细地理论分析和相应的数值计算,用HFSS对于所设计的实际结构进行了电磁模拟,采用数控加工、微细加工......
为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题，提出了一种独特结构的MEMS微波开关——MEMS扭转臂膜开......
石英微机械惯性器件(陀螺、加速度计、惯性测量组合)有广泛的应用领域和很好的发展前景.文章首先叙述了石英微机械振动陀螺和石英......
介绍了动态被动阀微泵的工作原理及其特点,在研究中利用有限元方法及相关工具对其结构进行分析设计,在加工工艺中提出了二次腐蚀工......
深度光刻技术是LIGA技术的关键和核心,该技术的研究是一个综合过程,包括光源性能,曝光设备性能,光刻胶性能,显影技术等多方面的影......
脉冲电流电解加工近年在精密、微细加工方面获得了重大进展.在高频、窄脉冲电解加工(HSPECM)精密型腔、型面新工艺通过气门模具试......
本文提出一种制造MEMS微器件的新技术--超声电解复合微细加工;构造超声电解复合微细加工试验系统,设计微细加工工具电极,进行一系......
本文介绍了将LIGA技术与微细电火花加工技术相结合来实现复杂形状微细结构的加工;初步探讨了复杂形状微细结构的加工工艺方法,获得......
实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在......
随着科技的进步与发展,很多领域内的设备都趋于微小型化。在这样的大背景下,制造业也步入了分子时代。在航空航天、电子产品、医疗......
激光二极管泵浦被动调Q微激光器是一种可以实现短脉冲(ps到ns数量级)、高的峰值功率(KW级)、高重复频率(KHz数量级以上)的脉冲激光......
YASDA微细加工中心YMC650和微细加工中心YMC430一脉相承,并在行程扩大的基础上实现了兼具高精度和高面品位的高端机床。其采用了全......
本文通过对光刻胶掩膜微细电化学加工的主要参数进行分析研究,发现光刻胶厚度、开口角度,脉冲电源频率、脉宽以及电解液配方都对加......
微细电解加工是微细加工领域很有发展前景的微细加工技术之一.适合于微细电解加工的装置被研制出来,它包括机床进给机构、微细......
本文阐述了聚酰亚胺涂料不同与常规材料的物理及化学特性,并利用其独特的性质将其应用在红外焦平面器件中的铟柱制备及微型金属杜......
本文对电化学微细加工技术的新进展进行分析和讨论,内容包括纳秒脉冲电流电解加工、微细电铸、EFAB、LIGA 与微电火花的组合加工等......
利用波长为248nm的氟化氪（KrF）准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷（PZT）、硅（Si）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）,研究了准分子激光对这3种材......
已提出的各种可能机理有束流引起的化学反应,高电流密度使表面局部区域内原子加热导致的局部原子的蒸发、熔化、再结晶等,有些结......
近年来，电铸在微细加工中的应用得到了较快发展，尤其在近几年高速发展的ＬＩＧＡ技术的掩模加工和其应用产品中，该技术充分体现出了它的优越性......
悬空金属微条是探测高能粒子和Ｘ射线的新型探测器──微条气体室的探测元件。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度都可......
本产品是由小型准分子激光器、投影光学系统、试样表面观察系统、X—Y控制系统组成的多工位微细加工装置.该装置可加工最小1μm的......
研究了亚微米聚焦离子束（FIB）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施。发现了偏转电极上钝化层及......
美国国家标准技术研究所和哈佛大学正在研究一种新的微细刻蚀方法,即用粒子束代替光束.热心于搞光刻的人也很高兴的知道这种方法......
本文简要介绍了微细加工光学技术的发展和“微细加工光学技术国家重点实验室”及其发展目标、研究方向和目前的主要研究领域。
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简要介绍了自制的聚焦离子束（ＦＩＢ）系统中束着靶点的飘移现象，分析引起飘移的原因及所采取降低飘移的措施。用此ＦＩＢ进行了一些基本图形的刻蚀......
美国加州的Phatonics AutomationProducts公司设计的激光检验仪可检验先进光刻材料、组件和工艺过程。深紫外PAP2193型检验仪的光......
在大气中，利用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）在氢钝化的Ｓｉ（１１０）表面直接进行化学改性，形成了２０～６０ｎｍ的ＳｉＯ线条．通过化学腐蚀，成功地将该ｎｍ线条转移到Ｓｉ基片上．实验证明，经ＳＴＭ改性......
镓液态金属离子源广泛应用于聚焦离子束技术 ,本文介绍了一种利用电子轰击的方法制备镓液态金属离子源的工艺和设备 ,测试了源的 I......
日本三菱电机公司大孤大学和光学技术研究所共同开发了波长266nm,输出功率20W的半导体激光激励全固休紫外激光器。全固体紫外激光......
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺的深层光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大......
随着微米／纳米科学技术的发展，微细加工微区分析所用的主要技术之一──聚焦离子束技术引人注目．本文简述了具有液态金属离子源的聚焦......
最近成功地在60×60mm 正方形板上用冷挤压方法挤出直径为0.8mm,高度为25mm 的621根细杆。这是精密铝件冷挤压技术的一大进步。通......
根据电火花微细加工伺服性能特点，在步进电机进给系统的基础上，提出了以电致伸缩位移器件作为主要执行件伺服系统的方案，并研制了初步......
