【摘 要】
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本文介绍了一种微细加工新方法 ＬＩＧＡ（ｉｎ Ｇｅｒｍａｎ ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ，ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果
This paper introduces the basic princi
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室!合肥230026
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本文介绍了一种微细加工新方法 ＬＩＧＡ（ｉｎ Ｇｅｒｍａｎ ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ，ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果
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