硅传感器相关论文
针对两类三轴硅加速度传感器,文中从结构、工作机理到制作工艺过程都作了详尽的剖析.从公布的测试结果来看,多质量三轴技术所受限......
概述了适用于惯导系统的单晶硅加速度计的设计思路和基本结构,并介绍了加速度计的核心部件单晶硅摆片和伺服线路的制造技术.测量结......
机械部“八五”攻关项目—厚度可控单晶硅膜制造技术研究,由上海冶金所历经4年时间,于1995年10月通过了机械部和中科院鉴定,专家......
作为一种工业检查技术,与配有测量和分析软件的个人计算机连接并采用非致冷探测器的摄象机已提高了实用性和适应性。
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本文利用热电法对铁水快速定硅技术进行了深入地研究。通过大量的试验,归纳出了经验规律,运用数学的方法加以演绎。利用实验室高频......
近年来,为了适应钢材高级化的要求,开发了以炉外脱磷为中心的新的炼钢方法,并对其关键之一的高炉炉前铁水脱硅处理予以了注意。在......
一、前言在很多新的领域里,已经出现了应用微型计算机的仪表和装置,这些装置一般都有一个或多个传感器,其低电平输出信号,在传输......
在六十年代后半期,只有几家公司(主要在美国)能制造基于硅的压电效应,将应变片贴到传感元件表面的压力传感器。这些传感器并不特......
1.前言大多数硅传感器都是基于被测量变化引起传感器电流,电压、电阻或电容变化的原理。从传感器传过来的小幅度信号需要进行处理......
1.引言过去湍流测量常用的传感器是热丝式。为了测湍流值所需的速度差,须将热丝放置在探头的不同角度。尽管热丝法有许多优点,但......
NT870系列投入式液位测量变送器(包括871、872、873、874、875)是国家下达给机械工业部沈阳仪器仪表工艺研究所“八五”攻关课题......
日常测定高压SF6设备的气体湿度对精确度和人身安全的要求较高。今天,变电站的维修技术人员提出了新的要求:泄漏到大气中的SF6气体最少。既......
作 者篇 名期页·能源管理·陈 光等宝钢能源优化模型的研究……………………………………………………… 1 5卜庆才等“......
近15年来,成熟的传统电声换能器技术只有不大的提高和改进。然而,此期间,有关声学方面却意外地出现了若干惊人的新发展。目前电声......
在分析简振梁模型的基础上设计了一种硅微谐振器,探讨了硅的表面加工技术在制作三维零部件中的应用,利用这种技术成功地制作了硅微......
下个世纪初,当碳的生命形式和硅传感器拴在一起时,科学和科幻最终将融为一体。
When the life forms of carbon were tied to silic......
一、概述天津市自动化仪表厂与西安绝缘材料厂采用了新工艺、新材料,研制成柔性印制电路板,现已运用在扩散硅变送器和扩散硅传感......
第1期评中国半导体三十年………………’··’…’…’……………………本刊主编 林金庭(1)64k动态随机存贮器一CM4864………·、......
本文讨论一种确定固体材料比辐射率的方法.在被测材料的表面开一个圆柱形空腔,并在其背面均匀加热.联立求解腔壁的辐射换热和体内......
近几年来,单用一种工艺难于获得各种不同要求的性能,例如双极型电路速度比较高,导通电阻比较小,但功耗较大,而且输入阻抗比较小,比......
本文把硅传感器的发展趋势归纳为三个发展方向:集成化、多功能化和多维化。提出了集成化的三种发展模式:高集成度、中等集成度和低......
1989年第一期 。气体放电电子束及其在微电子加工中的应Jf{……………………………杨正名(1)超薄栅介质的可靠性分析………………......
硅直接键合工艺(SDB)自1986年Shimbo提出以来,日益受到国内外的重视。SDB与IC工艺兼容且具灵活的优点,为硅传感器提供了一种新的......
GmbH硅传感器公司生产三种系列的大尺寸硅光电二极管,这些器件既可用于实验室,也可用于工业系统。 SSO PD系列和SSO PDH系列光电......
微型机器的兴起开辟了能够把微处理器、传感器和执行机构同时在一块芯片上制成的前景.目前,有些国家通过在硅片上进行微细加工.象......
高级传感器一方面将对已有的传感器生产线产生威胁,另一方面却又满足了尚无适当传感器可使用的新的市场需求。F&S公司对集成光路、......
用硅集成化技术制成的微型硅传感器,可以和微处理机装在同一硅片上。这种微型传感器正在许多试验室里加以研制,并且不久将促使微......
利用硅平面工艺,不但可实现电路集成化,而且可使传感器一体化。本文对传感器领域中的科研工作做了全面的评述并着重介绍了测量系统......
目前出现了这样一种趋势:将半导体压力传感器,尽可能地应用于工业用现场测量仪器上。由于电子技术的发展,即使在苛刻的环境中也能......
集成化和多功能化是当前硅传感器发展的二个主要方向。把微电子技术和传感技术相结合的硅集成多功能传感器具有高功能和低成本的巨......
,工艺与设备.(期.页) 仪器质量与玲检测技术······……(’ lt2) 自动砂轮划片机定位监视系统……(1·9)阿基米德凸轮的加工......
一、概 述 一九八九年六月廿六日至卅日,在瑞士蒙特洛举行了第五届国际固态传感器与执行器会议(简称Transducers'89)。由于国际上......
硅是一种非常有前途的传感器建筑材料。因为敏感元件和信号处理电路可以集成在同一硅片上,构成所谓“智能传感器”(Smart Sensors)......
·专家论坛·1.积极发展航空测试技术········...················……N012.组织起来形成产业 —关于发......
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本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传......
硅压阻应变计已广泛应用,尤其是对压力传感器.我们从最常用的工艺比较知道,到目前为止,它们之中没有一个成功地得到所有所需的量(......
本文对1989年6月26日至30日在瑞士蒙特洛举行的第五届国际固态传感器与执行器会议进行综合介绍。重点指出该领域的技术发展:如硅微......
1994年12月19日至21日,机械工业部科技司根据国家科委颁发的《科学技术成果鉴定办法》的规定,对沈阳仪器仪表工艺研究所承担的国......
压阻湿度传感器G.Gerlach等1.前言用于测量气体或空气中相对湿度的普通传感器,是利用电阻率的变化或与传感器周围的湿度相关的吸湿薄层的介电性......