【摘 要】
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1989年第一期 。气体放电电子束及其在微电子加工中的应Jf{……………………………杨正名(1)超薄栅介质的可靠性分析………………………………………………_张安康(6)痕量气
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1989年第一期 。气体放电电子束及其在微电子加工中的应Jf{……………………………杨正名(1)超薄栅介质的可靠性分析………………………………………………_张安康(6)痕量气体分析质谱计的研究…………-..………………………………毛福明等(15)在线色差检测仪的理论基础与设计(
The first issue of 1989 Gas discharge electron beam and its application in microelectronics Jf {................................. Yang Zhengming (1) Ultra-thin grid dielectric reliability analysis ................................. ..................... _ Zhang Ankang (6) Trace Gas Analysis Mass Spectrometer Research ............ - .. .................................... Mao Fuming et al. (15) Online Color Difference Detector Theoretical basis and design
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