【摘 要】
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本文根据最新文献资料,对八十年代的压力传感器技术的新进展,作了较详细的综述。其中着重介绍了半导体扩散硅、石英振频式、光纤式和集成化压力传感器的新进展。
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本文根据最新文献资料,对八十年代的压力传感器技术的新进展,作了较详细的综述。其中着重介绍了半导体扩散硅、石英振频式、光纤式和集成化压力传感器的新进展。
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