微测辐射热计相关论文
依托半导体生产线开发了基于MEMS微桥结构的微测辐射热计（Micro-Bolometer）器件，其中：使用化学气相沉积（CVD）技术开发了非晶硅（α-Si）薄膜......
太赫兹波(terahertz waves)位于红外波段与微波波段之间,相比其他波段具有高透射性、低能量性、相干性、指纹光谱以及瞬态性等特点......
由于非致冷红外焦平面阵列系统具有重量轻、无需致冷、成本低等优点，有广泛的军用和民用市场，因而这项技术是一个行之有效的发展新方......
非制冷红外探测器具有体积小、重量轻、成本低、可以室温下工作等优点,在红外侦查、工业检测、消防安防、电力行业等领域有着广泛......
微测辐射热计具有高响应、高集成度和室温探测等特点,目前已经在热成像、卫星遥感、环境监测、夜视、物质检测等红外领域有着广泛......
介绍了非致冷微测辐射热计红外焦平面阵列器件的结构、原理和应用,给出了利用与集成电路工艺兼容的微机械技术制作微测辐射热计的......
基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法, 采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真, 具体工......
双模成像仪是一种能够探测可见光和红外辐射的仪器。然而,现有的双模成像仪不但成本高,而且复杂、笨重。另外,双模成像仪中常用的......
采用磁控溅射法,以VO_2为溅射靶材在硅和石英基底上制备出纯VO_2晶相(B相和M相)薄膜。借助衬底上籽晶层的辅助,将VO_2薄膜沉积过程......
美国俄亥俄州的赖特实验室正在制订一个旨在开发低成本、非致冷导弹告警列阵的先进研究计划,该计划将于1997年或者1998年开始实施......
PtSi焦平面列阵的现状PtSi于1991年以1040×1040元的列阵率先实现了兆象元数的红外敏感器规格,从技术上来看,1024×1024依然是已......
本文概速衍射光学、微光学及其在红外成象系统中的应用。这篇技术综述介绍几种制备方法,重点放在金刚石机械加工对红外系统和材料......
采用多晶硅薄膜材料作为热敏电阻材料，以普通的ＩＣ工艺及微机械加工技术研制成功了在室温下工作的红外微测辐射热计，其多晶硅电阻温度系......
据雷锡恩公司埃伯尔分公司声称,该公司的Sentinel摄象机是第一个提供商业应用、基于微测辐射热计的非致冷红外焦平面列阵摄象机,......
通过对硅进行微机械加工、室温操作和批量处理,波音公司Anaheim电光中心在红外成像技术上取得了突破,获得了U3000型非致冷焦平面......
美国洛克韦尔电-光中心(REOC,现称为波音北美电光中心)于1995年12月提供非致冷红外焦平面列阵产品。这种非致冷型焦平面列阵突破......
９０年代以后，非致冷红外焦平面技术的实用化成为红外热成象技术中最引入注目的突破之一，其在军事和民用领域的广泛应用前景受到国内外的......
题 词 ………………………………………………………………………………………………………… 31 (1) 1纪念专文 继续努......
文中讨论了影响非制冷微测辐射热计的主要因素 ,介绍了器件中结构设计和材料的选取 ,给出了工艺过程和器件的测试结果
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题 目 作者 期 (页 )电子束技术电子束曝光的ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模拟任黎明 陈宝钦 1 (1)………………………………………......
红外成像技术在商业和军事领域具有广泛的用途。而非致冷红外成像技术新的市场还在不断涌现。在欧洲,红外成像市场是被积极开发军......
研究与试制1 0 7cm彩色 PDP显示屏及模块的研究开发陈向真 王绪丰 朱昌昌 樊卫华 曹 允 金永明 陈秀敏 刘忠安 徐卫东 1 ......
一、HgCdTe的外延与分子束外延生长 1.用MOVPE生长在(211)B CdTe/Si衬底上的HgCdTe膜层的特性(S.H.Suh等,韩国科技研究所)
First......
1.计算光机电学及其在微机电垂直腔表面发射激光 器中的应用(Sergey E.Lyshevski)2.用于光学应用的空间毫微结构型硅(Dmitri I.Ko......
一、光探测器1.红外光学探测器的回顾(Daniel Esteve等) 2.碲镉汞线列阵及其相关的硅读出(Fiodor F.Sizov 等) 3.致冷型大规格红外......
一、短波红外成像及测距1.用于高灵敏度探测的做在硅上的InGaAs光电探测器(Martin Bitter等) 2.用于短波红外成像的InAlAs/InGaAs......
(一)红外材料低维结构中的应变效应的研究.....……汤乃云1(16)热释电薄膜在红外探测器中的应用 ...……吴传贵刘兴钊张万里李言荣......
一、测试 1．最小可分辨温差测量的不确定性(Stephen F． Sousk等) 2．通过帧-帧测量调制传递函数值确定振动受激焦平面列阵相机的稳定精......
计划中用以执行地球和行星观测任务的热红外成像仪器越来越多。并入这些仪器的非致冷微测辐射热计技术给这些仪器带来了尺寸、重量......
美国专利US7385199 (2008年7月10日授权)微测辐射热计红外探测器一旦被确定用于某一项具体应用,它们就要用芯片级或晶片级技术以真......
第二部分十一、新的非致冷技术Ⅱ51.让量子红外探测器工作于室温的一种新方法(V.Garber等,以色列D.C.Sirica公司) 52.高灵敏度非致......
(SPIE Vol.6835)一、红外材料/器件及其应用1.非致冷微测辐射热计TECless操作的新型体系结构(F.Simoens等) 2.基于先进红外探测器......
采用快速蒸发并冷却衬底的方法,在不同衬底结构上制备出了电阻温度系数(TCR)优于0.25%的红外探测用非晶Ti薄膜。通过表征分析了氧......
基于非晶硅薄膜材料的微测辐射热探测器凭借其成本低、结构简单、可大规模生产等优势,在过去十几年间发展迅速,其焦平面阵列由最初......
非制冷红外焦平面阵列的微桥结构在微加工工艺中,由于温度的剧烈变化,在薄膜中产生热应力而引起微桥的变形,将对器件产生不利影响......
研究了一种基于BCB材料的牺牲层接触平坦化技术,用于红外焦平面阵列Post CMOS工艺之前对读出电路表面的平坦化,以利于微测辐射热计......
小型红外探测器系统与传统的红外系统相比,小型红外探测器具有迥然不同的系统特点。首先,它们在小F数下拥有远距离目标识别能力。......
自然界所有温度在绝对零度(-173℃)以上的物体，都会不停地发出红外热辐射。物体表面热辐射的强弱与该点的温度和表面状态有关，从而形......
随着半导体制造工艺的不断进步和应用需求的不断提升,非制冷红外焦平面探测器技术已经朝智能化、高性能、低成本方向发展。其成本......
微测辐射热计是红外热成像技术的重要组成部分,在火灾探测、安全系统和医疗诊断等方面发挥着重要作用。基于标准集成电路工艺制备......
