MEMS器件相关论文
基于MEMS陀螺仪和加速度计的工作特性,通过初始对准确定目标的初始位置、姿态、速度,计算出初始捷联矩阵,将MEMS器件测量的惯性系......
制导炮弹作为一类十分重要的精确打击弹药,其姿态测量技术一直被世界各国所重视。本文从制导炮弹对姿态测量技术的能力需求出发,对......
由于加工一个MEMS器件的周期较长，经费较高，因此，在设计之初都要进行仿真来验证所设计的结构是否符合实际需求。为此，本组在之前开发了......
本文提出了一种基于电容敏感机理的新型低温共烧陶瓷(LTCC)压力传感器.与传统制备工艺相比,由于4J33铁-镍-钴合金的使用,这种新型......
为了解决噪声和漂移等原因造成的误差不断累积的问题,针对陀螺仪的静态性能以及加速度计的动态性能,提出了一种利用六轴MEMS器件对......
微机电捷联惯性导航系统(MEMS-SINS)具有低成本、体积小等优点,被广泛应用到无人机、行人导航等领域。而初始对准技术是捷联惯导系......
MEMS器件因其具有体积小、重量轻、可批量制作、可集成等优点,在现在日常生活中应用越来越广泛。MEMS器件动态参数测量对于其加工......
MEMS器件气密封装是MEMS制造的关键工艺，晶圆级封装是实现MEMS器件小型化、低成本化的发展方向，有望取代传统的金属管壳封装和陶......
微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器、微电感器、微谐振器......
在微谐振器工作过程中，品质因数是衡量其动力学特性的重要指标，其从能量的角度定义为:存储于振动系统的总能量与每个振动周期损耗能......
MEMS器件应用前景广阔,其可靠性问题引起了人们越来越多的重视。硅基底多层结构是MEMS器件的重要组成部分,其特性将直接影响MEMS的......
本文研究了MEMS器件设计的计算机辅助仿真系统，分析了MEMSCAD系统中的一些关键技术。同时分析了典型静电微驱动器的动力学特性、力......
引线键合是MEMS器件加工中应用最为广泛的一种封装工艺,现有的MEMS引线键合绝大多数是由操作者在显微镜下手工操作完成,操作者的经......
微机电系统(MEMS)是将微传感器、微执行器、微机械和电路等高度集成化的系统。但当前MEMS的设计方法在处理MEMS的微尺度效应、多物......
MEMS器件开发包括从设计要求的提出、设计到产品的试生产和测试运行，对其进行建模仿真得到整个系统的行为特征，能使得MEMS设计的一些......
亚微米尺度下,导电率的变化与此尺度下的缺陷或疲劳失效有着十分紧密的联系,而“亚微米”是MEMS导电薄膜器件结构特征尺度范围,且......
介观尺度MEMS器件的工作间隙小,且运转速度高,相对于传统机械而言,其摩擦问题显得更加突出。由于缺乏有效的润滑手段,严重阻碍了ME......
MEMS器件的制作离不开湿法腐蚀技术,湿法腐蚀技术制作成本低廉且工艺简单。本文对硅的氧化、光刻和湿法腐蚀都做了相关的研究,尤其......
随着电子设备的不断小型化、轻量化，微电子或者微机电系统等产品尺寸都已进入微米甚至纳米级。由器件微型化带来的不同于传统大尺寸......
随着科技的快速发展以及制造工艺水平的不断提升，微机电系统（英文缩写为MEMS）因其具有众多优点而被广泛地应用在电子产品、医疗器械、......
相位解缠算法最初运用于INSAR数据的分析,后来应用于地形图的绘制。从上世纪90年代中期开始,相位解缠算法随MEMS技术逐渐发展,成为......
随着MEMS技术的飞速发展,微悬浮转子式陀螺逐渐成为研究的热点和关注的焦点。不同于传统振动式陀螺,悬浮转子式具有高精度、高灵敏......
MEMS压力传感器是最早开展研究,进行工艺实现并达到商业化的MEMS器件,能广泛应用于工业控制、生物医疗、环境检测、航空航天等领域......
在MEMS器件中,用的较多的构件有薄膜材料,对其力学性能的分析是MEMS器件分析的关键所在。由于受到残余应力,弹性模量的误差,薄膜晶......
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素.研究发现,当今基于MEMS的典型产品中,封装成本几乎占去了所有物料......
主要介绍了近年来国内外出现的有市场推广潜力的立方相碳化硅(3C-SiC) MEMS器件,详细描述了其中一些典型器件的基本结构、加工工艺......
为确保MEMS器件的运作,对其进行缺陷检测是至关重要的,但许多机械性能无法通过电气或功能测试来确定.而一种有前途的能穿透硅和大......
海洋钻井平台的倾角幅度直接关系到工程结构工作的安全。文章利用MEMS器件实现了平台X,Y轴倾角信号的拾取,利用STC12C5A单片机和GP......
长期以来,电脑、手机以及一些汽车应用一直是推动半导体器件增长的动力。这些传统市场的发展也在加速催化对各种相关新应用的需求,......
开发一种生物运动微惯性测量装置,以基于ARM7的LPC2129为核心处理单元,采用MEMS陀螺和MEMS加速度计为测量传感器。该装置实现了对S......
为能够实现MEMS器件生产的自动化、柔性化、高速化，研究和设计具有飞行视觉系统的贴片机。该贴片机能够自动找寻器件基准图像信息，在......
研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术．以悬臂梁的谐振频率指标为例，通过TSPICE软件，模拟其在给定初始结构参数下的谐振......
设计了一种MEMS器件三维结构生成的方法,介绍了结合工艺流程实现转换的全过程,对相关算法进行了详细论述.结合工艺流程时首先将二......
河北美泰电子科技有限公司依托中国电子科技集团公司第十三研究所，是国内最早做Mebs产品的企业之一。不久前，该企业刚刚投入使用一座......
贴片工艺是MEMS封装中的关键工艺。根据残余应力理论，应用有限元方法和试验技术研究了贴片胶杨氏模量和热膨胀系数对贴片应力和芯片......
研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以固支梁的谐振频率指标为例,通过HSPICE模拟软件,模拟其在给定结构参数下的......
基于MEMS器件的微细加工技术，提出了在微电流密度下电化学钝化机理基础上，用高频振动效应消除钝化，用与高频振动同频同步的窄脉冲电流......
在微电子机械系统技术飞速发展的今天,由于ＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ-Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ-Ｓｙｓｔｅｍ)器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,ＭＥＭＳ研究已成为世界上发达国家高科技发展的......
微机电系统（Micro Electro—Mechanical System，MEMS）是现在备受瞩目的新兴技术之一，并已在数个领域取得一席之地。打印机喷墨头是最显......
无线通信的发展已成为推动半导体工业发展的真正动力,许多半导体公司为了在这一领域占有一席之地正大力开发微电机械系统(MEMS).实......
MEMS器件具有重量轻、体积小、功耗低等优点,可以很好地满足各种电子设备的要求,将MEMS的微型传感器用于检测相关参数的功能,已经......
针对目前捷联式姿态航向系统低成本、低功耗、高精度、微型化的发展趋势,提出一种基于MEMS器件的姿态航向系统的实现方案,介绍了该......
美国模拟器件公司(ADI)的MEMS器件、DSP、数据转换器、音视频接口、微控制器在其长长的产品目录中占据着重要的位置，性能不断提高、......
