随着MEMS技术的飞速发展,微悬浮转子式陀螺逐渐成为研究的热点和关注的焦点。不同于传统振动式陀螺,悬浮转子式具有高精度、高灵敏度等优点,而且排除了振动式微陀螺所固有的正交耦合误差等缺点,成为具有良好发展前景的一种MEMS器件,已在美、日、英等国得到了一定的研究成果,显示出相当的发展潜力。本文对静电悬浮转子微陀螺的相关技术进行了分析和研究,并对信号的处理进行了分析和设计,结合机构模型,进行了动态仿真。全文的主要研究内容和结论如下:对静电悬浮转子微陀螺的工作原理进行了阐述,对悬浮转子微陀螺的动力学和一般运动特性进行了分析,对微陀螺结构进行了分析。对电容检测原理进行了说明,结合电容检测在微陀螺中的应用,设计了等效控制模型,并就其中的一些关键技术进行了分析。同时提出了控制和检测的思路和方法。设计了静电悬浮转子微陀螺DDS信号发生电路,为后续控制电路提供良好的信号源,确保了系统正常工作。信号源可根据实际需要,通过调整参数,得到不同的输出量。根据信号的具体要求,设计了相应的滤波电路,保证了信号的稳定性和信噪比,减小了噪声的干扰,确保了信号的纯度和精度。建立了静电悬浮转子微陀螺的三维模型,并在结构仿真环境中做了机构的动态仿真,根据仿真数据针对等效模型设计了控制算法,模拟了转子陀螺的动态性能。在实际加工前,提供了有效的参考和一系列仿真分析参数,帮助改进设计静电悬浮转子微陀螺的结构和控制方法。