MEMS器件自动优化算法及其实现

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【摘要】

：

研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以固支梁的谐振频率指标为例,通过HSPICE模拟软件,模拟其在给定结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的

【作者】

：

赖文滨李伟华

【机构】

：

东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室南京

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2007年2期

【关键词】

：

MEMS器件自动优化算法结构参数固支梁 MEMS devices algorithms of automatic optimization struc

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研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以固支梁的谐振频率指标为例,通过HSPICE模拟软件,模拟其在给定结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正方法对器件进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标(5%)要求.最后采用Coventor Ware软件对优化结果进行了验证.

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