超光滑表面相关论文
钛宝石晶体是超强、超短脉冲激光振荡源广泛采用的工作物质,其口径大小和表面全频域波面误差决定了超短、超强激光系统的输出能量......
为了实现亚纳米级超光滑表面的加工, 建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统, 同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相......
分析了碳化硅(SiC)材料加工原理与难点,介绍了SiC晶片的精密抛光技术,使用化学机械抛光(CMP)方法对4英寸(1英寸=2.54 cm)4H-SiC晶......
随着超光滑表面元件在半导体加工行业、航空航天和国防军工领域的广泛应用,超光滑表面的清洗技术的质量与效果显得格外重要。本文......
随着科学技术不断地发展进步,光学、微电子、天文学等领域的研究工作对超光滑表面的需求量日益增加,对关键零部件表面的面形精度亦......
随着光学技术的发展,具有超光滑表面的平面光学元件应用越来越广。传统超精密抛光技术大多存在效率低、加工质量不易控制等问题,难......
光学玻璃以其优异的物理性能被广泛应用于航天、信息、能源、化工、微电子等领域.随着这些领域的不断发展,传统技术已无法满足日新......
随着科技的发展,超光滑表面材料的应用变得越来越广泛,对透明超光滑表面元件的面形精确测量的要求也随之提高。在测量透明平行板的......
纳米材料和纳米技术的快速发展,使得纳米薄膜在工程领域得到了广泛应用。目前常用的纳米薄膜制备方法,如离子束溅射沉积、磁控溅射......
本文设计并研制了一套可控制抛光作用力的精密抛光装置，该装置具有抛光作用力微调功能及显示功能。用该装置对Ｚｅｒｏｄｕｒ陶瓷玻璃进行控制力抛......
弹性发射加工是基于流体动力润滑效应获取超光滑表面的一种重要方式,但是目前该方法在进一步改善粗糙度上遇到瓶颈,本文为了突破这......
在现代光学应用、电子信息等高科技领域,大量大平面型精密光学零件和功能晶体材料常常需要进行超光滑表面加工。由于工艺要求高,目......
随着科学技术的不断发展,超光滑表面加工技术在光学仪器、航空航天、高精密机械等领域受到越来越广泛的应用。随着产品的更新换代,......
本文主要研究了受中国航天电子技术研究院委托所研制的超低损耗陀螺光腔专用调节设备,其实质是设计一套超光滑表面元件疵病检测系......
超光滑表面在光学、微电子、能源等各个领域都有着重要的应用,成为各国精密加工技术研究的重点。尤其在光学领域,超光滑表面成为降......
超光滑表面抛光技术是晶体材料获得纳米级粗糙度表面的主要手段,而影响抛光精度的主要因素是微射流抛光液的温度、压力、流速。本......
本论文研究的主要内容是设计一套用于超光滑表面的多光束干涉显微测头。系统主要部分为光学结构部分，辅助部分为信号处理电路部分。......
微晶玻璃因其良好的机械性能和较高温度下的化学稳定性而被用作激光陀螺反射镜基底材料,但两相多晶结构又使其清洗后易受腐蚀,损伤......
基于功率谱密度简化公式,通过数据拟合提取出PSD曲线的两个重要评价参数。研究PSD曲线变化与超光滑表面加工工艺相关性,提出基于超......
期刊
利用纯金属锡制作抛光盘,结合超精密主轴和导轨,可以对抛光盘进行超精密车削修整.同时该机床的抛光盘主轴和工件主轴均为可调速的......
针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术,介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法-定偏心浸液式抛光.分析了微晶玻璃的性......
介绍了超光滑表面清洗的基本理论,指出了当前超光滑表面清洗中存在的问题,系统分析了现有清洗技术的原理和清洗效果,并指出清洗技......
本文给出了法拉第旋光片的结构设计,阐述了超光滑表面加工理论,分析解决了加工过程中的难点,完成了法拉第旋光片工作面与楔角检测,......
磁流变抛光的一个主要目标是实现超光滑表面的加工,加工不同的材料,实现的超光滑水平不一致,且加工效率也不同。本文采用实验室现......
在频域内利用微观轮廓功率谱密度和反射光栅模型得出:基片表面微观形貌在空间波长0.37～0.895μm范围内的谐波分量是造成反射镜散射......
在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系.在上海同步辐射光源小角......
深紫外投影光刻机是目前高端半导体集成电路制造的主流设备,其中,光刻物镜系统是光刻机中最精密、最复杂的分系统。随着数值孔径NA......
为了研究目前主流微加工表面检测方式，本文选择三种基本材料：K9玻璃、金属、陶瓷三种不同材料在同等条件下采用不同工艺进行加工，并使......
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法，但由于需要严格的加工条件，很难获得理想的超光滑表面。本文设计了新的硅片双面抛光加工工......
世界各国十分重视超光滑表面光学元件的加工与检测技术的研究.本文阐述了超光滑表面在诸多科技领域的应用,并结合超环面光学元件检......
超光滑表面加工技术是超精密加工体系的一个重要组成部分。介绍了流体二维振动超光滑表面加工新技术、实验装置的组成及加工原理，并......
提出了一种液流悬浮研抛加工的新工艺方法，开发了基于三坐标数控铣床的液流悬浮研抛试验系统。通过分析研抛过程的影响因素，确定了以......
通过均相沉淀法制备了纳米CeO2和Al2O3粉体,研究了在相同抛光条件下纳米CeO2、Al2O3和SiO2磨料对硅片的抛光效果,用原子力显微镜观......
为分析测量仪器对测量结果的影响及结果差异的工艺原因，选取K9玻璃材料分两步在某抛光机上进行浮动抛光，用依据四种不同测量原理的表......
亚纳米级抛光是获得超光滑表面的主要方法。目前,常用的亚纳米级抛光方法有化学机械抛光（CMP）、电化学机械抛光（ECMP）、无磨料化学机械......
通过对微晶玻璃、陶瓷、金属3个试件进行超精密加工,使试件表面粗糙度值达到纳米级,采用非破坏性的X射线衍射sin2ψ法测量原理对不......
超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵......
通过对射频功率、反应室压强和处理时间等参量进行实验，系统研究了等离子体处理对基片表面状态的影响．结果表明，等离子体处理可以溅射......
为实现超光滑表面光学元件的高精度无损加工,将大气射流等离子体炬技术引入到超光滑光学元件加工中.以石英玻璃为加工对象,对大气......
表面粗糙度是表征光学元件表面质量的一个重要指标,这使得人们不断致力于改进表面粗糙度的测量技术,以提高其测量精度.然而很多实......
发展了大气等离子体抛光方法，并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除，避免了表层和亚表层损......
针对超光滑表面的需求，提出了一种基于流体二维振动的超光滑表面加工方法。该方法用流体代替传统的抛光盘，并附加二维振动作为抛光作......
为了解决纳米薄膜生长所需的原子级超光滑表面制备问题,基于液动压悬浮抛光新方法开展液动压悬浮抛光机床的设计研究。利用铝基盘......
应用液流悬浮抛光技术获得的光电产品表面，不仅具有较好的表面粗糙度，而且抛光面没有亚表面破坏层，并且由抛光引起的表面残余应力极小......
利用HL-Ⅱ型微机控制原子力显微镜(AFM)系统对无磨料低温抛光件表面的轮廓曲线进行了测量.基于分形理论,分析和讨论了不同工艺参数......
为了实现亚纳米级超光滑表面的加工,建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统,同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相互......
