随着科学技术的不断发展,超光滑表面加工技术在光学仪器、航空航天、高精密机械等领域受到越来越广泛的应用。随着产品的更新换代,对工件表面加工质量要求越来越苛刻,超光滑表面加工技术是当今制造业的研究热点。为了更好的获得超光滑表面,本文对新型液动压悬浮抛光方法进行了研究。这种新型抛光技术引入了约束边界,控制流体边界,可以有效的提高加工区域的流体动压力,改善压力分布均匀性,从而更有利于获得少无损伤的超光滑表面。本文的主要研究内容有:(1)基于流体动力学的理论,研究流体运动特性,分析游离于流场中的磨粒在抛光过程中的运动状态及其去除材料的理论;(2)建立了液动压悬浮抛光流场的整体三维模型,数值模拟了固液两相流,采用正交试验设计方法分析了抛光盘转速、加工间隙以及抛光液浓度三个因素对流场动压力及磨粒速度的影响;(3)建立了磨粒撞击工件表面的有限元模型,对磨粒撞击工件表面产生的残余应力分布特点进行仿真分析,并比较不同的入射速度和入射角度撞击铜工件表面对残余应力产生的不同的影响;(4)搭建液动压悬浮抛光装置,对液动压悬浮抛光过程中加工区域的流体动压力进行测量,并研究了转速和加工间隙的变化对流体动压力的影响。