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应用液流悬浮抛光技术获得的光电产品表面，不仅具有较好的表面粗糙度，而且抛光面没有亚表面破坏层，并且由抛光引起的表面残余应力极小。同时研制了数控液流悬浮抛光机床，并对硅晶片等材料进行了加工试验。
液流悬浮抛光技术的应用研究
【摘 要】
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应用液流悬浮抛光技术获得的光电产品表面，不仅具有较好的表面粗糙度，而且抛光面没有亚表面破坏层，并且由抛光引起的表面残余应力极小。同时研制了数控液流悬浮抛光机床，并对硅晶
【机 构】
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安徽理工大学科技产业处
【出 处】
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安徽建筑工业学院学报：自然科学版
【发表日期】
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2006年4期
【基金项目】
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安徽省教育厅自然科学基金项目（2006kj294B）.
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