超精密抛光相关论文
钨及其合金是当今高新技术产业重要的基础材料.近年来,科技的发展对材料表面质量提出了更高的要求,因此在特定条件下有必要对钨及......
本文提出了以修正环型抛光机以及微细SiO抛光粉为特征的新抛光技术,并对加光过程和特征也作了阐述,采用新的抛光条件,BK-7玻璃超平......
材料的超精密加工已成为最前沿的研究领域之一.为了获得元器件的高性能,保证极高的加工质量,一种采用专家数据库智能控制系统的修......
分析了碳化硅(SiC)材料加工原理与难点,介绍了SiC晶片的精密抛光技术,使用化学机械抛光(CMP)方法对4英寸(1英寸=2.54 cm)4H-SiC晶......
文章介绍了超精密数控加工的概念、应用和历史,综述了超精密数控加工技术特别是超精密磨削、超精密切削和超精密抛光的发展。分析......
钾 dihydrogen 磷酸盐(KDP ) 光水晶与 water-in-oil (W/O ) 被用机器制造到极端精确的表面微乳剂擦亮液体。在用机器制造的过程利......
镑作为未来核聚变堆中最有前景的面向等离子体材料,在反应堆工况下将承受高能粒子的辐照冲击.表面质量的好坏会直接影响材料的氢/......
简述超精密加工技术现状 ,介绍超精密平面抛光机的工作原理 ,分析达到纳米级超精密抛光的技术难点 ,并阐述了纳米级超精密抛光智能......
本文使用超精密平面研磨机及锡磨盘进行超光滑表面的抛光研究.平面抛光中,锡磨盘表面的形貌和加工状况直接影响被加工工件的表面平......
在精密与超精密加工领域,清华大学路新春等建立了大尺寸表面纳米级平坦化的加工原理与方法,发明了系列大尺寸超薄硅片纳米级无损伤......
研制了一种采用专家数据库智能控制系统的纳米级超精密平面抛光机,对几种功能陶瓷进行了平面抛光实验,并分析了修整环型抛光机抛光......
由于化学机械抛光（CMP）中机械和化学作用同时发生在芯片抛光过程中，因此，传统的电化学测试仪难以动态测试CMP中芯片表面成膜的过程。将......
3．水合抛光水合抛光是利用在工件界面上产生的水合反应的新型高效、超精密抛光方法。主要特点是不使用磨粒和加工液，而加工装置又与......
论述了用于激光陀螺仪、旋光片抛光的MPM-700光学零件抛光平台的主要结构及特点。介绍了该设备在传动方式、台面选型优化、抛光头......
为了获得超平滑的石英晶体表面，本文讨论了超精密抛光中材料的去除机理，提出了微小表面粗糙度的基本形成模型。实验采用软质磨料微粉......
介绍了超精密抛光机的工作原理及其控制要求,通过控制规则可调整的模糊控制技术解决控制系统非线性与保证控制精度的方法,并应用DS......
分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等,且工件表面各点运动轨迹不重复;提出......
压电陶瓷换能器两端的银电极要求较高的平面度及较好的表面质量。由于其上的银电极极薄(50~60μm),加工余量很少。一般的超精密加......
随着微电子和光电子的快速发展,电子元器件逐渐向小型化、轻型化、抗辐射、高温、高频、大功率等更为苛刻的工作生存环境方向发展,......
软Ｘ射线光学的发展，对光学元件表面提出超光滑要求，为此我们开展了使用锡磨盘的超精密抛光方法研究。本文介绍锡磨盘磨削的实验装置及......
本文介绍了自行设计的智能型纳米级抛光机的智能控制系统，对其实现方法进行了研究，分析了智能控制系统的组成，提出并建立了基于专家控......
随着5G时代的临近,在当今社会朝着无人化、机械化、人工智能自动化发展的大浪潮下,超精密加工不仅仅在工业制造领域,更在物流通信,......
主要介绍了作为发光半导体ＧａＮ衬底材料的ＬｉＧａＯ２单晶超精密抛光方法及初步结果。利用聚氨酯抛光盘配合ＳｉＯ２悬浮液，采用机械化学抛光的方法，已加工出......
作为新一代光学系统的核心关键器件,光学自由曲面元件已广泛应用于航空航天、生物医药、光电通信及科学仪器等领域。与传统光学曲......
为了解决超薄石英晶片高表面质量的加工问题,以及寻求一种高效低成本的加工方法,将一种新的超精密抛光工艺应用到超薄石英晶片的加......
超精密抛光是一种降低表面粗糙度,获得高表面质量和表面完整性的加工技术。蓝宝石作为典型的难加工硬脆材料,传统抛光方法存在表面......
擦亮的扁平软帽工具是一个新奇、先进、极端精确的擦亮的过程，形式自由的表面能被擦亮。然而，在过去几年，不是仅仅计算居住时间并且在......
分析了CMP后电子元件表面清洗存在的问题,综述了CMP后清洗技术的发展现状,详细阐述了兆声波清洗技术的原理、工艺流程、工艺参数及......
作为精密超精密光学制造工艺过程中的一个重要环节,各种新型表面抛光方法与工艺始终吸引着科研人员不断深入研究与探索。磨料射流......
超精密抛光是一种新兴的用于制造高精度、高品质的自由曲面光学加工技术。该技术可突破其他自由曲面加工技术的限制,如飞刀铣削和......
为了获得超光滑光盘模具镜面,选用金刚石磨料抛光光盘模具。分析了金刚石粒度、分散介质与抛光盘硬度等因素对表面质量的影响。试......
钽酸锂是近年来随着通讯、信息产业迅速发展而开发并产业化的新型光电子材料。它具有机电耦合系数大、低损耗、高温稳定性、高频性......
随着科学技术的飞速发展，高精尖技术对加工精度的要求越来越高。超精密抛光技术是衡量制造业发展程度的重要指标之一，超精密研抛技术......
发动机喷油嘴的加工质量严重影响着发动机的经济性能与排放标准,而由于喷孔孔径较小且与内腔形成交叉孔,采用常规的抛光方法难以实......
超光滑抛光玻璃表面粗糙度为纳米量级,超精密抛光加工精度达到分子级或原子级。超光滑和超精密抛光新技术包括数控小工具抛光、应......
弯管内表面超精密加工因其难于实现,成为超精密加工技术的瓶颈,备受国内外学者关注。为了解决弯管内孔表面超精密加工难题,需要找......
提高加工质量和效率,充分满足产品的生产需求是制造技术发展永恒的主题。目前,自由曲面抛光仍以手工加工为主,加工效率低、抛光精......
超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义.超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法.本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质......
