光学制造相关论文
在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。......
光学元件制造方法决定了光学元件表面微观形貌的结构，而表面微观形貌直接影响光学元件的使用性能，即不同的微观分布影响使用性能的不......
由于大口径望远镜主镜的拼接子镜为离轴非球面,所以增加了镜面的加工和检测难度。为了进一步提高离轴非球面子镜的加工效率和缩短......
为优化非球面透镜模压成型过程中的工艺参数,利用MSC.Marc软件建立了二维轴对称模型。基于五单元广义Maxwell黏弹性模型对D-ZK3玻......
激光平面切割所面对的原始对象是众多无序的曲线段, 而加工轨迹间的定位以及切割过程本身却是一个有序的连续加工过程。如何将无序......
针对高功率激光系统中传统小工具抛光方式带来的较大中频误差影响高功率激光系统稳定性和可靠性的问题,提出了基于简谐运动的复合......
讨论了现有各种点阵全息光刻系统的基本原理。提出了一种基于衍射光栅和空间光调制器数字微反射器(DMD)的点阵全息光刻系统和方法......
为了预测微透镜阵列玻璃模压成型过程中微结构的加工工艺参数,利用高级非线性有限元软件MSC.Marc进行微透镜阵列的有限元建模;将不......
利用非线性有限元软件MSC.Marc建立非球面光学玻璃透镜模压的有限元模型，选择广义Maxwell模型作为粘弹性模型输入，设定边界条件，进行......
在计算机控制光学表面抛光中,高斯形状的去除函数是一种理想的去除函数,然而传统的双转子运动抛光产生的去除函数与高斯形状有较大......
通过在石英玻璃的抛光过程中引入α-Al2O3颗粒,对抛光过程中石英工件表面产生的划痕类型和收尾阶段不同粒径杂质颗粒产生的划痕长......
微透镜阵列是一种多功能的微光学元件,可以对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦等调制,进而实现大视角、低像差、小畸......
借助扫描电子显微镜，对2219铝合金电流作用下激光焊接接头进行原位拉伸试验，观察接头的裂纹形成、裂纹扩展过程及断裂模式，研究其微观......
基于偶氮材料光吸收调制的高分辨率微加工技术近年来引起了极大关注。为揭示该技术中偶氮材料光吸收调制的机制，结合偶氮材料光致异......
为了提高碳化硅反射镜的光学性能，满足空间光学元器件对碳化硅材料的要求，对碳化硅反射镜表面改性光学性能和表面粗糙度进行了研究。......
采用离子交换法对圆柱形Tl玻璃丝进行离子交换,在此基础上将其加工成方形自聚焦透镜样品。再用雅明干涉法和正方形网格图分别对样......
固着磨料工艺主要针对某空间相机的高精度平面折反镜而开发，分别从微观结构的仿真计算和人工神经网络两个角度对此工艺加工碳化硅反......
由于KDP（KH2PO4）晶体硬度低的特性，在利用单点金刚石切削技术对其进行加工的过程中，所使用的真空吸盘夹具会在其加工表面产生周期性波......
研究了水射流抛光条件下的去除函数特征，根据去除函数的一维轮廓特征采用分段解析函数拟合方法建立了去除函数的解析表达式。根据解......
全口径环形抛光中方形元件的材料去除率存在从中心到边角位置越来越大的现象,致使抛光工件出现塌角的面形,影响了方形光学元件的面......
通过有限时域差分和有限元方法，对锥状GaAs纳米线阵列太阳能电池的光伏特性进行了仿真。利用有限时域差分仿真研究了形貌和分布特性......
针对具有多波段强吸收和发光特点的N31和N41型掺钕磷酸盐激光玻璃，选取罗丹明6G(R6G)作为荧光标记物，它的激发和发光分别避开了钕离......
为了研究光学表面制造残差对成像系统性能的影响,提出了基于光学系统出瞳位相差的空间频段误差划分方法,推导出了统计意义下的中频......
提出利用信赖域狗腿法解决通用非球面光学元件抛光后置求解的强非线性问题。基于低序体表示和齐次变换方法建立适用于任意非球面面......
多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的发展方向。提出了一种以光刻胶三维形貌差异为评价目标的光刻多参数联合优化方法。以多个深......
轧辊作为轧制过程中金属变形的直接工具，其质量和使用寿命至关重要。同时轧辊也是冶金企业的主要消耗部件，在轧钢生产成本中占很重的......
提出了一种新型的磁介质辅助抛光技术，用于高精度光学表面的数控抛光。在强磁场的作用下,磁介质吸附在磁轮上并沿着磁力线方向排列......
随着空间应用技术和激光技术的迅猛发展，对光学系统提出了更高的要求；碳化硅材料以其一系列优秀的物理性质，成为一种特别具有应用前景......
以Motoman SSF-2000机器人为基础，开发出激光快速成形/修复系统。在机器人上集成了高精度送粉系统、视觉监视系统、惰性气体保护系......
将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程，基于压痕断裂力学理论......
开展了动态气体锁抑制率的实验研究，设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统；进行了真空抽气系统的详细设计，形成了具有实际可操......
为分析原位合成Cr3C2-NiCr金属陶瓷激光沉积层结合区各组织的生成机制，以质量分数为Ni25%-Cr65%-石墨10%能量色散光谱单元素混合粉......
采用共沉淀法合成钇铝石榴石(YAG)纳米粉体，经干压成型后进行宽带激光烧结，获得YAG透明陶瓷。利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对Y......
超精密加工工件表面存在影响其性能的各种空间频率误差,针对工件的不同性能研究,需要采用有效分解手段对含有特定频段空间频率误差......
利用边缘光抑制技术，设计并研制了一套双光束激光三维直写光刻系统。该系统含有高速扫描振镜和三维纳米压电平台两组扫描机构，可以根......
介绍离轴抛物面镜通常的几种加工流程和适用范围。详细介绍了基于超精密磨削技术和小工具数控抛光技术加工离轴抛物面镜的加工过程......
在常温常压下,采用手持式激光诱导击穿光谱仪(LIBS)对铝合金中的镁、钛元素进行定量分析,以验证其稳定性及可靠性。手持式LIBS内置......
随着航天技术的发展，轻质反射镜的研究正朝着径厚比更大、轻量化更高的趋势发展。然而，当轻质镜面形精度峰谷(PV)值低于0.1λ时，镜面......
在光学镜面相位恢复检测中,由于CCD相机的横向失调和光路中倾斜误差的存在,采集图像会发生错位,影响检测结果的准确性。为了克服光......
为了研究不同杂质颗粒物对划痕的影响及其大小与划痕形貌之间的关系，在钕玻璃抛光过程中分别引入三种尺寸的金刚砂、氧化铈团聚物和......
纳米压印技术（NIL）是一种机械制备纳米图形的微加工技术，它具有设备简单、易于操作、重复性好和成本低等优点。同时，它可以大面积制备......
探讨了在一定条件下实现对传统光学零件,尤其是对几何尺寸较大的光学零件实现主动控制,从而达到改善零件面型,优化光学系统成像质......
报道了磷酸盐激光钕玻璃的连续熔炼线，以及采用连续熔炼工艺获得的400 mm 口径N31 钕玻璃的主要性能。连熔所制备的N31-35 钕玻璃的......
射流抛光技术是一种新型精密加工方法，多喷嘴射流结构和长条形喷嘴结构的应用可以有效地提高射流抛光效率。冲击角度会影响冲击射流......
为了提升单晶碳化硅(SiC)材料的抛光效率及表面质量,提出了将传统抛光与磁流变抛光(MRF)相结合的新方法,并对一块直径为100 mm的单......
非球面光学元件在光学系统中的应用越来越广泛，为了提高光学系统能量收集能力，高陡度非球面光学元件常常被采用。然而，高陡度非球面光......
提出一种基于差分进化算法和微反射镜阵列(MMA)光源模型的光刻机匹配方法。加入MMA光源模型,利用差分进化算法优化微反射镜光斑分......
绝缘体上硅(SOI)提供了一种 “Si/SiO2/Si”三层结构,采用深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺,利用其中的二氧化硅绝缘层作为刻蚀自停止层......
提出了一种快速生成高斯型去除函数的实验方法。通过研究倾斜定点入射方式下射流束中心与工件的交点和材料去除形貌之间的关系,得......
