平坦化技术相关论文
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柔性太阳能电池由于具有质量轻,易于运输、安装等优势,成为未来便携式电子产品、航空航天飞行器电源的最佳选择之一[1-2].钙钛矿电......
本文以微波SiC MESFET为例，首先要4H半绝缘SiC衬底片上外延一层缓冲层，用来减少衬底对SiC MESFET的影响，然后在缓冲层上生长一层n型的......
超光滑表面在光学、微电子、能源等各个领域都有着重要的应用,成为各国精密加工技术研究的重点。尤其在光学领域,超光滑表面成为降......
该论文提出了一种全新的凹槽环绕栅结构,并对器件模拟和制备工艺技术进行了深入研究,获得的研究成果如下：1.在调研了器件尺寸缩小所......
为促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作，由中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的20......
论述了扫描电镜技术在ＶＬＳＩ多层布线技术中的应用。扫描电镜技术为层间介质膜的制备、介质膜表面平坦化及介质通孔的干法腐蚀结果，提供了......
多孔低介电常数的介质引入硅半导体器件给传统的化学机械抛光（CMP）技术带来了巨大的挑战，低k介质的脆弱性难以承受传统CMP技术所施加......
