同步辐射光刻相关论文
深度光刻技术是LIGA技术的关键和核心,该技术的研究是一个综合过程,包括光源性能,曝光设备性能,光刻胶性能,显影技术等多方面的影......
高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的......
微型机械技术将给工业领域带来深刻的变革，它被认为是未来工业的一项基础技术。ＬＩＧＡ技术是制作微电子机械的一种重要加工方法。主要对合......
ＬＩＧＡ工艺技术包括光刻、电铸和塑铸三个重要环节。而深层同步辐射光刻掩膜技术是Ｘ射线光刻应用的关键之一。作者采用聚酰亚胺为衬基，以电......
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该......
简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明......
软X射线波带片是软X射线光学中聚焦、色散和成像的重要元件.以激光全息-离子束刻蚀技术制作金的振幅型软X射线聚焦波带片,以此为掩......
微机械、微机电系统(MEMS)的实用化对自由度大的三维加工方法提出了更高的要求.利用同步辐射(SR)X射线所具有的准直性、透过性的LI......
ＬＩＧＡ技术（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ，Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）是一种全新的微细加工制造方法。本文介绍了ＬＩＧＡ技术及其应用研究的意义、研究的主要内容以及中国科技大学正在做的探索性工作。......
本文介绍了用ＬＩＧＡ技术制作微细金属图形的原理及工艺过程，讨论了影响金属图形质量的因素，同时报导了国家同步辐射实验室用ＬＩＧＡ技术研究微细金......
简述了微电子机械系统的起源和特点，介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术，对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明，并介......
LIGA方法是由深层同步辐射X射线光刻、电铸成形、塑铸成形等工艺组合而成的综合性技术。其核心是深层同步辐射光刻，而电铸和塑铸工......
高分子材料，如甲基丙烯酸甲酯（polymethyl methacrylate，PMMA），由于其价格相对低廉和容易加工，在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注．本......
