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软X射线波带片是软X射线光学中聚焦、色散和成像的重要元件.以激光全息-离子束刻蚀技术制作金的振幅型软X射线聚焦波带片,以此为掩模,利用接触式同步辐射光刻和离子束刻蚀技术在聚酰亚胺衬底上,分别制作出了镍和锗的软X射线相位型聚焦波带片.
软X射线相位型聚焦波带片的研制
【摘 要】
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软X射线波带片是软X射线光学中聚焦、色散和成像的重要元件.以激光全息-离子束刻蚀技术制作金的振幅型软X射线聚焦波带片,以此为掩模,利用接触式同步辐射光刻和离子束刻蚀技
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2004年期
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