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ＬＩＧＡ技术（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ，Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）是一种全新的微细加工制造方法。本文介绍了ＬＩＧＡ技术及其应用研究的意义、研究的主要内容以及中国科技大学正在做的探索性工作。
微细加工新技术－LIGA技术研究
【摘 要】
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ＬＩＧＡ技术（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ，Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）是一种全新的微细加工制造方法。本文介绍了ＬＩＧＡ技术及其应用研究的意义、研究的主要内容以及中国科技大学正在做的探索性工作。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系国家同步辐射实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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