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LIGA方法是由深层同步辐射X射线光刻、电铸成形、塑铸成形等工艺组合而成的综合性技术。其核心是深层同步辐射光刻，而电铸和塑铸工艺是LIGA产品实用化的关键。LIGA技术是为了适应光机电元器件日趋微型化及一体化而发展起来的一种新的工艺方法。
X射线刻蚀电铸模法（1ithographic galuanoformung aloformug（德文），LIGA）
【摘 要】
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LIGA方法是由深层同步辐射X射线光刻、电铸成形、塑铸成形等工艺组合而成的综合性技术。其核心是深层同步辐射光刻，而电铸和塑铸工艺是LIGA产品实用化的关键。LIGA技术是为了
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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2005年3期
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