【摘 要】
：
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该技术在深宽比要求高的微光、微机械及微机电
【机 构】
：
上海交通大学信息存储研究中心!上海200030,上海交通大学信息存储研究中心!上海200030,上海交通大学信息存储研究中心!上海200030,上海交通大学信息存储研究中心!上海200030,上海交通
论文部分内容阅读
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该技术在深宽比要求高的微光、微机械及微机电系统的元件制造领域有独特优势[1] 。报道采用LIGA工艺制作微齿轮所涉及上述工艺的研究结果。
Depth X-ray lithography using synchrotron radiation is a key process of LIGA process. It includes several processes such as preparation of LIGA mask, photoresist coating and deep X-ray lithography. Of the glimmer, micro-mechanical and micro-electromechanical systems components manufacturing have unique advantages [1]. The results of the above process involved in the production of a micro-gear using the LIGA process are reported.
其他文献
介绍了扫描电镜中的一种背散射电子采集和测量系统 ,该系统能探测那些较低能量损失且散射角接近 1 80°的背散射电子。测量了在Au、Pt、Ag和C靶中的低失能近轴背散射电子的背
在实施全面素质教育的过程中,历史学科有着重要的作用。注重培养学生的思维能力,既能提高历史教学的质量,也会促进学生的全面发展,简要分析高中历史教学中学生思维存在的问题
反应离子刻蚀是金刚石薄膜图形化的一种有效方法。研究了用O2 及与Ar的混合气体进行金刚石薄膜图形化刻蚀的主要工艺参数 (射频功率、工作气压、气体流量、反应气体成分与比
主要研究了不同的反应离子刻蚀条件 (氧基工作气体、刻蚀功率、工作气压等 )下所获得的不同刻蚀效果。当以O2 /CHF3 作为工作气体时 ,在一定的工艺条件下实现了高深宽比 (深
在分析光刻胶光栅浮雕图形缺陷成因的基础上,首次将光刻胶灰化工艺引入到全息-离子束刻蚀制作闪耀光栅工艺中,并成功地为国家同步辐射实验室光化学站制作了12001/mm,闪耀波长
中国凤仙花是古老的乡土花卉,在我国栽培已有千年的历史,它不择土壤,不择地域,只要温度适宜,在全国各地均可栽植。中国凤仙花有许多别名,如指甲花、急性子、小桃红等。凤仙花
详细讨论了DR1 /PMMA聚合物波导在紫外光照射下 ,各个模式的有效折射率 ,薄膜厚度 ,以及紫外可见吸收谱的变化情况。并在此基础上 ,提出了以金属掩模 ,利用光漂白技术制备聚
调制器是光纤系统的重要器件。硅基微机械光调制技术使用常规硅平面工艺方法 ,制作较为简单 ,成本较低。同时 ,又具有高数据速率 (几Mb/s)和宽频带( 1 3μm～ 1 5 μm)性能 ,
目的:探讨腹腔镜胆囊切除术(LC)中意外胆囊癌(unsuspected gallbladder carcinoma,UGC)的处理及预后。方法:回顾分析如皋市人民医院2005-08/2008-12 LC 200例,发现意外胆囊癌
目的: 研究食管癌体外化疗药物敏感性与临床疗效的关系,为临床肿瘤化疗个体化提供依据.方法: 用改进的MTT法测定25例食管癌组织的化疗药物敏感性,并依药敏结果选择化疗方案,