微陀螺相关论文
建立了3类微梁加工误差的有限元分析模型,采用有限元分析的方法研究了3种不同类型的梁宽误差对微陀螺固有频率、模态和检测信号的......
微机械陀螺仪是一种用于测量角速度和角位移的静电驱动MEMS惯性器件。它以性能可靠、体积小、响应快、能耗低、成本低和智能化等特......
随着全球信息化,惯性导航市场需求与日俱增,微机械陀螺作为导航系统的核心器件之一不可或缺。随着市场对微陀螺的检测精度要求越来......
陀螺仪是一种用来检测物体旋转量的惯性传感器。自最早的转动式陀螺发展至今,MEMS振动式陀螺以其体积小、质量轻、成本低和功耗低......
MEMS微陀螺是利用科氏力敏感物体角速度的传感器，具有成本低、体积小、功耗低等优点，在军事、车辆、航空航天以及医疗器械等领域均有......
陀螺仪自问世以来，发展迅速，在航空、航天、航海、军事等领域得到广泛的应用。MEMS陀螺采用振动部件，与传统陀螺采用转子部件相比，具有......
微陀螺是近十年快速发展起来的一种新型惯性器件,具有质量轻、功耗低、启动快、可靠性高等优点,成为目前惯性传感领域的研究热点。......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
为揭示静电力非线性及刚度非线性综合作用下多自由度微陀螺的静态特性,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,用Hamilton原......
研究了微陀螺的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电......
设计的新型微机械陀螺采用了谐振敏感原理,其具有直接准数字式频率输出、高灵敏度、结构设计灵活、自解耦等优点.由于灵敏度是谐振......
微型惯性测量组合就是将微加速度计、微陀螺、微信号变换处理电路和信号校正电路进行综合集成,从而获得载体的综合惯性参数测量,它......
压电型微固体模态陀螺利用压电体的特殊振动模态来工作,它是一种不同于微振动陀螺的全固态微陀螺。在压电型微固体模态陀螺中不存......
主要介绍了反磁悬浮系统的悬浮和稳定的原理以及用作惯性传感器的原理。研究了对反磁悬浮微器件理论。使用ANSOFT的MAXWELL3D有限......
针对现有的微机械陀螺噪声分辨率难以降低的问题，设计了一种基于纳米光栅检测的微陀螺，阐述了纳米光栅微陀螺的工作原理，分析了微陀螺......
在振动式微陀螺的工作过程中，输入角加速度的变化将导致驱动轴振动幅值的变化，从而降低微陀螺的测量精度。文章研究利用自动增益控制......
微陀螺采用双框架双支撑解耦结构实现X-Y方向运动相对独立,驱动模态采用叉指电容结构实现大范围静电驱动,敏感模态方向采用差分电......
针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对Z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建......
信号发生电路是静电悬浮转子微陀螺系统的重要组成部分。介绍了DDS信号发生电路的原理及基本构成和微陀螺信号电容检测的要求、特......
电磁悬浮转子微陀螺（MGELR）是一种新型的角速率传感器,它和传统机械陀螺具有相同的工作机理。MGELR有望成为具有高精度的微陀螺。对......
开发了一种基于数字信号处理器（DSP）的静电悬浮转子微陀螺的可视化闭环测控系统。该系统是在VC33DSP平台下，采用增量式PID算法控制器，......
压电型微固体模态陀螺是一种利用压电材料制作的新型固态微陀螺，具有高抗冲击、抗震动能力。陀螺主要部分为一压电质量块，研究发现其......
模态分析是微陀螺结构设计的重要环节,针对一种采用L形截面悬臂梁支撑的微陀螺结构,提出了参数化的模态分析方法。建立了微陀螺的......
在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起.基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能......
在悬浮转子微陀螺中输出的角度检测信号为一经过幅度调制的调幅波形，为了使用数字信号处理器（DSP）读取调制波形中的低频有用信号，需要......
对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点.从中反映出谐振式微惯性传感......
利用集成电路演变而来的微加工技术研制的微型陀螺,便于批量生产。其成本低,质量轻,抗冲击。该文介绍了石英微陀螺的基本结构和工......
介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的基本原理，重点对旋转的原理进行讨论，给出相应实现方案的指标分析和系统设计，并进行了实验。......
为了实现磁悬浮转子微陀螺的电容检测，使用数值积分方法计算了新型磁悬浮转子微陀螺的电容值与转子倾斜角度的关系。计算确定了电容......
本文设计了一种利用丹麦B＆K公司的9610型振动传感器标定系统对叉指式微陀螺的频率特性进行检测的方法；在分析微陀螺的受迫振动特性的......
介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理，进行了针对旋转力矩的仿真；在此基础上，给出了相应实现方案的指标分析和系统设计。......
为了研究微陀螺敏感模态和驱动模态的固有频率与机械灵敏度以及相位漂移、稳定性的关系,利用敏感电压的负刚度效应调节两模态间的......
介绍一种微机械音叉陀螺外围电路的基本结构及各组成部分的工作原理。针对机械敏感单元设计了陀螺的外围电路，通过系统分析，建立了数......
静电悬浮转子微陀螺是一种新型陀螺，通过静电力控制转子使其自由悬浮在空腔中，利用有限元法提取转子在平动和翻转时的压膜阻尼。在考......
为了实现静电转予的稳定悬浮，建立了针对于悬浮转予的静电支承模型。在模型的建立过程中，分析了静电力作用机理，给出了静电力计算公式......
摘 要：随着现代科技的不断提高，人们对于电子产品的研究已经不在仅局限于大面积的生产和大规模电路的机械，而是开始向微电子机械技术......
微陀螺是微小卫星、微飞行器等装备中不可缺少的惯性器件,磁悬浮转子陀螺能克服机械支承和定位的摩擦,使之可以达到普通陀螺的精度......
介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实......
介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究。利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子......
本文结合微机械陀螺的简谐振动测试提出了一种改进的数字图像相关方法--数字时间序列图像相关方法,并编制了相应软件.通过对作高速......
为了兼顾微陀螺的灵敏度和带宽,实现其性能优化,将特征提取、响应面法与遗传算法相结合,提出了一种基于灵敏度和带宽最优化的优化......
为研究微陀螺驱动微梁在加工误差下的微梁形状变化对正交耦合误差、模态耦合以及检测信号的影响,建立了驱动微梁在对角线梁宽误差......
传统的微陀螺转子驱动电路采用对模拟信号直接移相实现,为了解决模拟信号直接移相时移相范围有限、调试复杂等不足,设计出了基于FP......
给出了一种基于UV-LIGA技术的静电悬浮转子微陀螺，提出了控制系统组成方案，为了实现转子的起支控制和稳定悬浮，模糊控制被应用于该系......
空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学，构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将......
给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度;采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的......
介绍了一种新型磁悬浮转子微陀螺的电容检测方案，其特点是检测定子上径向分布的电容极板和悬浮转子形成差动电容的变化。检测电路为......
接口电路是悬浮转子微陀螺研制中的关键技术之一。本文对静电悬浮转子微陀螺的差分电容结构建立其简化数学模型，并结合Sigma-Delta......
全固态微陀螺无整体活动部件，具有测量范围大，抗冲击、抗震动能力强，对真空封装无较高的要求等方面的优点，是微型MEMS陀螺的一个重要发......
