激光微加工相关论文
本文针对脉冲激光辐照光学材料的烧蚀与改性机理进行理论分析和实验研究。围绕激光参数、材料性能和约束环境等关键因素,研究了激......
为优化激光制备表面微坑织构工艺参数,提高缸套-活塞环摩擦副的摩擦学性能,使用纳秒脉冲激光器在镀铬活塞环表面制备椭圆形微坑织......
首次提出在紫外固化光学胶自重流淌并导致表面曲面变化时,采用激光固化的原位成形法进行的光学微透镜制作技术.该方法属于激光微加......
光纤激光器是近年来发展迅猛的一种激光源,它具有光束质量好、体积小、免维护等许多优点.采用峰值功率为10 kW,最大平均功率为0.8 ......
采用纳秒级紫外激光器对0.1mm厚铍铜、单晶硅片、聚酰亚胺等材料开展精细切割的应用研究,具有加工精度高,热效应小等特点。通过优化......
实验发现飞秒激光单步刻蚀的光纤微腔两个反射壁与纤芯轴向并不完全垂直,微腔形状与飞秒激光经显微物镜聚焦后的焦点相对于光纤的位......
采用皮秒激光对石英玻璃进行打孔实验,探究了石英玻璃在532 nm皮秒激光作用下的损伤阈值,同时通过控制变量法研究了激光能量密度、脉......
从能流分析出发,对飞秒超短脉冲激光与金属平面靶相互作用的机制进行了理论研究,对其中主要物理过程的能流损耗作了详尽的分析,并......
激光微加工是半导体精密加工的一个有效方法。对于碳化硅(SiC)单晶,使用紫外波段激光可以获得对入射能量最大的吸收效率。使用355n......
本文首先研究了工件加热效应对激光精密打孔的影响与作用。实验表明;陶瓷、金属等材料加热效应可降低材料汽化阈值2-3个量级,并可用于......
加州新波研究公司制造的小型闪光灯泵Nd:YAG激光器增进了对半导体损伤的分析和液晶显示器的修复。1996年初推出QukLaze装置也是电阻......
介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好,传输效率高,输出光束截面尺寸连续可调,而且为掩模投影式准分子激光微加工系统......
由欧盟BRITEEURAM计划投资的研究激光亚微米加工的三项计划已圆满结束。借助激光亚微米加工的高精度微型零件和光学模具结构系列以......
北京工业大学激光工程研究院依托于国家产学研激光技术中心、中德激光技术中心和北京市激光技术实验室 ,是我国先进的激光科学与技......
采用1kHz飞秒激光(脉宽148fs,中心波长775nm)对石英衬底的金膜的烧蚀过程进行了研究.单脉冲与多脉冲的烧蚀阈值可以通过烧蚀点的直......
针对复杂结构和图案的飞秒激光微加工,提出了一种基于BMP图像边缘跟踪的飞秒激光微加工方法.介绍了采用该方法实现复杂图形飞秒激......
利用自主研发设计的波长为355 nm的纳秒脉冲激光微加工系统,在硅(100)表面进行照射加工,形成了线槽宽度约25μm的微结构。利用荧光......
通过纳焦量级的飞秒激光在铬膜表面诱导出了周期性微结构,并使用入射飞秒激光和激发的表面等离子体波之间的干涉理论模拟分析了飞......
为了提高微光纤压力传感器的制作效率,采用157nm激光加工的自封闭式法布里-珀罗腔,形成在线式全光纤压力传感器,包括微腔和一截短......
在数太瓦钛宝石啁啾脉冲放大系统中(极光Ⅱ升级装置),对多脉冲序列的放大过程进行了详细的实验研究,获得了多脉冲序列的放大输出.......
实验发现,飞秒激光微加工光纤微腔时,两个侧壁与纤芯轴向并不完全垂直,刻蚀的非平行壁光纤微腔Mach-Zehnder干涉仪出现光程差随波......
在明确飞秒激光与物质相互作用过程冲击温度概念的基础上,讨论了飞秒激光烧蚀铝靶和铜靶过程中的冲击温度与其他物理量的关系,利用......
提出了一种新型的光纤法布里-珀罗(F-P)折射率传感器,该传感器由单模光纤头端面和靠近该端面的由157 nm激光加工而成的短空气腔构......
行波管(TWT)是一类重要的真空电子器件,正在向毫米波及太赫兹频段发展。随着频段的提高,高频慢波结构的尺寸越来越小,关键尺寸将......
有一个长期的争论,认为脉冲持续时间为激光微加工的最佳选择。人们普遍认为纳秒是属于过去式的事情,飞秒则是显著昂贵的选择而皮......
激光加工技术在上世纪激光问世不久就受到人们的重视,经过发展,至今已成为先进制造技术的重要组成部分。随着微纳制造技术、MEMS技术......
学位
随着柔性电子技术的不断发展,人们利用集成技术与微纳加工技术,在柔性材料上制造出集传感、滤波、数据存储等功能为一体的新型柔性......
仿生极端润湿性功能表面在自清洁抗污耐腐蚀、油水分离材料界面净化水体、非均匀润湿性图案化表面水收集等场合具有重要的应用前景......
表面结构CVD金刚石工具是通过化学气相沉积(CVD)技术以及后续的微结构加工方法制造的新型加工工具。研究表明,CVD金刚石涂层表面的......
提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基......
印尼发现新奇物种这只罕见的金披风树袋鼠是2005年底由美、澳、印尼3国科学家在印尼的一座孤岛上发现的。研究人员表示,这是世界上......
采用激光微加工技术在45#钢表面制备了微坑型织构,将激光表面织构化与MoS2固体润滑剂相结合在45#钢表面制备了复合润滑结构.研究了......
为了满足微加工效率,便于数控编程,选用弓字型激光扫描路径,介绍了温度场控制方程,引入高斯激光功率密度随时间改变的特性对激光束......
激光是 2 0世纪人类重大发明之一 ,已在能源、信息、航天航空、激光武器、材料、生物医学、先进制造等高新领域获得若干重要应用 ,......
本文研究了半导体工艺中常用的薄膜电极与细金属引线的微型焊接。借助扫描电子显微镜对焊接区的金属元素成分作了能谱分析,探讨了......
文中讨论了激光对金属微米级打孔的一些试验,得到了激光参数如:模式、泵浦能量、光学系统的焦距与加工微孔的直径,孔形等的关系,并得到......
激光材料加工都用空间和时间压缩的激光能作材料消融、切割、焊接和其它改型。激光作为一种必不可少的工业手段已牢固确立自身的地......
介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术,并简要介绍其应用。......
为了探索低成本、大深宽比加工方法,建立了实用的准分子激光微加工系统。以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用......
中国电子学会生产技术学会“三束”学组召开的“激光技术应用讨论会”于1984年1月5日至8日在厦门大学举行,参加讨论会的有来自研......