离子束镀相关论文
类金刚石膜制备技术及在红外元件上的应用李福升，赵强，洪伟（航天工业总公司八三五八所天津３００１９２）类金刚石膜是一种性能极其优异的红外涂层材......
用低能量氩离子束轰击肖特基势垒二极管芯片背面，能有效减小反向电流和理想因子，增高势垒高度和减小势垒电容．对于较大的轰击能量和束......
利用光刻／离子束刻蚀制作大面阵硅微透镜阵列，采用SEM和表面探针测试等手段分析所制样品的形貌特点，定性讨论制备工艺的不同对所制器......
本文根据所制造的设备、蒸发介质的方法和离子激励的模式对离子镀技术进行了分类。指出低真空(等离子体)和高真空(离子束)技术之间......
近年来,离子束与固体材料相互作用的研究领域发展很快,已渗透到材料科学、表面科学、周体物理、核物理与微电子学等各个学科。低......
在第9届国际真空会议上发表的有关真空镀膜的论文有193篇,占真空论文的43.1%。从这个比例上可看出在真空技术中真空镀膜技术占有......
本文介绍了一台自行研制的离子束表面处理装置。该装置能独立进行离子束溅射沉积金属膜，也能与离子注入机联机进行离子注入和离子束......
用分子动力学计算机模拟研究了能量为5—20 eV/atorn，结构为正二十面体的(Cu)_(13)原子簇在Cu（001）表面的沉积过程.采用紧束缚势同Mol......
一、引言离子束镀膜是利用从离子源引出的带能离子束,在无场的高真空(10~(-4)～10~(-5)托)环境中轰击所选择的靶材,溅射出二次原子,......
本文首先介绍LD—1型离子束镀膜机的特点、性能和主要技术参数,然后结合一些典型器件工艺,论述LD—1机的用途。最后介绍华南工学院......
本文介绍了利用俄歇电子能谱、X射线光电子谱和紫外光电子谱,对Si/Co/Si系统的固相反应形成物的组分、化学相和电子结构进行研究的......
利用离子束镀膜技术,在非超高真空(1.33×10~(-3)Pa)下,采用离子束清洗衬底表面和对衬底加热的辅助方法,在单晶Si衬底上淀积Co薄层......
用双离子束镀膜方法在W基底表面制备不同厚度的Cr薄膜.用冷场扫描电镜能谱分析仪对镀膜样品成分深度分布进行分析,使用重离子加速......
描述反应离子束在钛表面镀钯膜的耐蚀特性。用扫描电子显微镜(SEM)、x射线能谱仪(EDx)和俄歇电子谱仪(AES)观察分析膜的形貌和组分......
