离子注入机相关论文
针对我国用于离子注入机的高压放大器输出峰值电压一般处于±10 kV的现状，研制了一种双极高速高压功率放大器，输出最大峰值电压为±2......
介绍了离子注入机的整体结构及典型离子束生成系统的结构与工作原理.以表格的形式给出了常见的故障现象、可能原因及处理方法,对未......
介绍了一种离子注入机用、最高电压达到350 kV的层叠开放式加速电源的研制方法.通过将倍压部分设计为层叠开放式、高集成化的倍压......
离子注入材料表面改性其技术经过努力已逐渐成熟.本文报告了核西物院研制的各型多功能离子注入机及特点,并举例说明了离子注入技术......
本文介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法.......
本文介绍了减速电源的工作原理,着重描述如何采用高压电子管作为泄放开关,自动检测并泄放减速电极上产生的累积电荷.这一措施有效......
本文作者通过研制三相高频开关电路和三相对称倍压电路,解决了氧离子注入机引出电源输出高压大功率的问题.在动态负载工作条件下,......
武汉大学加速器联机系统于2008年初步建成,200kV离子注入机至透射电镜束线进行了运行调试,开展了气体离子注入单晶Si、GaAs、Ag纳......
为了延长航空发动机主轴轴承的使用寿命,在我们自制的双元素离子注入机上对GCr15和M50两种轴承钢材料的试样、轴承试验件和正式轴......
本文从原理上阐述氧离子注入机高温靶室对制作SOI材料的要求,分析晶片加热途径和热传递方式,对晶片注入高温区结构和热源进行热设......
采用金属蒸汽真空弧放电技术原理研制成功的MEVVA离子源,具有离子种类多,离子束流强,运行稳定可靠等一系列优点.本文将介绍装配有......
1995年,亚太区成为全球半导体设备销售额增长最快地区。Eaton、Varian、KLA和TEL四家主要设备生产厂商有关人士畅谈了为迎接未来技......
本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
This paper introduces the working prin......
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响......
ＥａｔｏｎＣｏｒｐ离子注入设备制造公司Ｅａｔｏｎ公司半导体设备部已取得三种离子注入机均衡发展的信誉。其高能、大束流及中束流离子注入机是三大离子注入设......
ＳＯＩ（ＳｉｌｉｃｏｎｏｎＩｎｓｕｌａｔｏｒ）技术被认为是２１世纪的硅集成电路技术．近年来，国际上出现了一种引人注目的ＳＯＩ制备新技术———智能剥离（Ｓｍａｒｔｃｕｔ）技术．它的出现为解决ＳＯＩ技术中质量......
本文从大束流离子注入的真空环境及对离子注入机性能影响的角度，讨论了大束流离子注入机真空系统的布置和设计。
In this paper, t......
离子注入材料表面优化技术首先是由氮离子注入改善金属材料表面耐磨性开始的,其研究开发和工业应用已有近20年的历史。此技术在许......
采用MEVVA源离子注入机将Si,Er先后掺杂到不同厚度的热氧化硅薄膜中 ,利用卢瑟福背散射 (RBS)能谱分析了掺杂层中Er原子的深度分布......
亚舍立科技股份公司(纳斯达克简称:ACLS)即先前1978年成立的伊顿半导体设备部门,一直是离子注入技术领域的领先者。亚舍立(Axcelis......
离子注入机ⅦSta平台对≤130nm尺寸CMOS工艺在整个能量和剂理范围提供单片注入。这些注入机的特征是硬件和设计原理通用,并包含离......
一、引言近几年来,离子注入技术在金属方面的研究和应用越来越引起人们的重视。但是金属材料的研究要求注入剂量高(一般在10~(17)......
在n型Si衬底上用热丝化学气相沉积方法制备了多晶金刚石膜,用200keV的离子注入机在金刚石膜中进行了二次硼离子注入,第一次注入能......
一、引言离子注入是一种表面处理新技术,最先应用于半导体材料的掺杂。70年代,人们研究将其用于金属材料的表面改性,发现该技术与......
Axcelis技术公司推出可用于大流量注入及亚65nm器件制造的OptimaHD离子注入机。这种新型低能大剂量离子注入系统可提供200eV至80ke......
离子注入技术是将某种元素电离后,加速成高能的离子束注入固体靶中,以改变靶体材料表面的物理化学性能。离子注入新技术用于对金......
随着器件尺寸的缩小,离子注入和退火等制程的可变性开始引起器件阈值电压的显著变化。对此,器件制造商有两个选择:要么围绕可变性......
本文简述了离子注入技术的特点、原理和装置;介绍了目前国内外离子注入机的类型和主要参数;详细地综述了离子注入技术在提高金属材......
自70年代开始对金属进行离子注入以来,在改善金属材料表面物理、化学性能研究中,取得了很大进展,一些研究成果正逐步从实验室推广......
离子掺杂技术和“离子束——材料相互作用”机制的研究是材料科学与核物理与核技术相结合而发展起来的新兴领域。它研究小型低能......
由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司,开始接受国际主流......
离子注入机是集成电路制造的核心装备之一,本文重点介绍了当前集成电路领域离子注入机的分类和基本性能参数,描述了其系统组成以及......
运动控制系统在离子注入机系统中起到晶元机械传输、高精度位置控制、高精度的速度控制的作用。同时,位置测量、基于位置的数据采......
由于离子注入机注入晶片的离子(如B、P、A等)数量及注入深度等均可严格控制,故比传统工艺优越得多。特别是在中、大规模集成电路......
用缝针法和孔针法来测量束流相图的结果往往不同,本文讨论了这两种方法的关系,说明了不宜于用缝针法来测量由于象差而产生严重畸变......
在1月29日召开的2007全国科技工作会议上,科技部部长徐冠华介绍了这样一组数字:在刚刚过去的2006年,全社会研发总支出达到3000亿元......
【编者按］江泽民总书记在学习邓小平理论。作会议上的讲话中指出；“深入学习邓小平理论，要同学习和贯彻十五大精神结合起来，紧紧围绕十......
由机电部主持召开的13项科研成果鉴定会6月12日在长沙市隆重举行。来自部、省、市的领导及全国各地的有关专家,学者共一百余人出......
本文介绍了离子注入新技术的发展概况,说明离子注入机的工作原理,综述了近年来离子注入在材料科学及工程方面的研究成果,其中也介......
