硅微加速度计相关论文
MEMS是新兴的跨学科高新技术研究领域,它有着广阔的应用前景和诱人的市场价值.MEMS技术与传感器技术相结合是MEMS技术发展的必然阶......
国内硅微加速度计的研究在实验室状态下取得了很大进展,但是在产品一致性、长期稳定性问题及工程实用化方面存在一系列问题,不能达......
针对硅微加速度计中微小差分电容检测,提出了一种基于调制解调方法的闭环检测电路,介绍了该闭环检测系统的原理框图和实现途径.分......
电离辐射在硅微加速度计梳指结构的绝缘层中产生俘获电荷,使微加速度计的输出产生漂移,这种辐射效应可以用梳指结构中的附加静电力......
随着微机械加速度计的发展,其设计方法、结构工艺、系统实现及性能分析越来越需要深入研究,运用CAD进行分析是一种发展趋势.本文运......
硅微加速度计在辐照情况下输出电压会发生漂移,甚至出现失效模态.文中介绍了硅微加速度计的辐射效应及损伤机理,并给出了辐射剂量......
本文首先就硅微加速度计、微机械陀螺及MEMS惯性测量组合的研制现状作了一系统的分析.然后对国内研制硅微惯性器件的几个问题(硅基......
本文介绍了有限元仿真工具ANSYS在硅微加速度计性能仿真中的应用,并利用ANSYS提供的优化工具,对加速度计结构进行了优化设计.得到......
该文提出了一种新型的硅微加速度计，它工作原理为差动电容，采用万向支架结构，通过四组差动电容的不同输出解算出三维加速度。该文针对......
本文介绍了硅微加速度计的概况,给出了几个弹载硅微加速度计的应用实例,讨论了弹载加速度计应用中需要解决的几个问题,最后给出了......
该文研究的意义在于,为国内外正在致力研究的硅微加速度计的弱信号检测技术探索设计理论和方法,研究设计过程中的技术难点,并为克......
六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要......
本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法,采用专用MEMS设计软件建立了"三明治"式硅微加速度计自顶向下的系统模型,该模型对于硅微加......
研究了微加速度计的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点.在研究检测微小......
研究了微陀螺的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电......
硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势.本文阐述......
本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案．介绍了该方案的基本工作原理，建立了相应的闭......
由封装结构热失配引入的应力和结构变形会对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应。为描述该效应,一种基于缩减刚度矩阵的层合......
根据目前微观性测量单元MIMU中硅微机械陀螺仪和加速度计的主要技术性能及A/D转换技术的现状,提出了基于高集成度、低功耗和6通道1......
应用ANSYS软件对MEMS器件——八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真。仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度......
研究了微陀螺的电容变化率为１０＾７－１０＾－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的......
介绍压阻式硅微加速度计的结构设计.采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计.该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用......
针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工......
环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建......
典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成，其基本结构图和工作原理框图如图1......
给出了硅微加速度计基于虚拟现实技术的实现步骤,并在基于微机实验平台上创建了其虚拟环境,通过拟实运行验证了将虚拟现实技术应用......
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设......
首先介绍了硅微加速度计机械部分的工作原理及电容检测方法,同时分析了整个电路系统框图,然后构建出硅微加速度计系统总体结构,并......
1 电子学在微电机技术研究方面，体硅溶片工艺研究取得新进展。结合新建成的体硅MEMS工艺平台，开展了体硅溶片关键工艺研究。体硅溶片......
本文研究了一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路.与多数处理电路不同的是,本文以精密仪表运放为核心,设计了一种低温漂,高放大......
本文介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法，这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考价......
研究了微加速度计的电容变化率为１０＾－７～１０＾－８旱的微弱输出信号的 是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分......
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考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计（MSRA）的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针......
针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结......
介绍一种悬臂梁式硅微加速度计的结构与工作原理,并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。采用体硅“无掩膜”腐蚀技术,对设计出的敏感芯......
加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，硅微加速度计已逐渐崭露头角并受到广泛的......
近年来，随着我国国防事业，工业，环境保护，自动控制等行业的高科技产业化发展，硅微加速度计的发展也因其体积小，高可靠性，易于集成，可大规模......
集成电路及MEMS技术的高速发展，极大地促进了硅微惯性传感器的开发与应用。目前在各个领域，硅微惯性传感器正呈现商业化、产业化的应......
