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研究了微陀螺的电容变化率为１０＾７－１０＾－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制由开关电荷注入引起的误差的技术。
硅微机械陀螺接口检测技术的研究
【摘 要】
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研究了微陀螺的电容变化率为１０＾７－１０＾－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪
【机 构】
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航空工业总公司第618研究所,西北工业大学
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1999年5期
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