【摘 要】
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研究了微加速度计的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点.在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用
【机 构】
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航空工业总公司第618研究所七室,西北工业大学自动控制系,西安交通大学电子与信息学院
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研究了微加速度计的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点.在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术.这些全新的技术思路和措施可望达到检测10-7～10-8的电容变化率的目的.
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