【摘 要】
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六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要的用途.本文针对外带梳齿式长方体检测质量的
【机 构】
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北京航天控制仪器研究所,北京,100039清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;
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六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要的用途.本文针对外带梳齿式长方体检测质量的表头结构,依据带宽、量程、刚度等指标要求,经位移检测解耦变换与加力控制耦合变换后,分别设计出六轴稳定悬浮控制器.在地面大气环境下的仿真分析结果表明,阻尼最小的轴向转动超调量为14.2％,六轴控制器的带宽范围为368 ～ 489Hz,轴向/径向平动的静态刚度分别为2.82×105N/m和2×103N/m,轴向/径向转动的静态刚度分别8.8×10-3N·m/rad和9.77×10 -2N@ m/rad；综合指标满足六轴悬浮控制的性能要求.
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