硅微惯性器件相关论文
本文首先就硅微加速度计、微机械陀螺及MEMS惯性测量组合的研制现状作了一系统的分析.然后对国内研制硅微惯性器件的几个问题(硅基......
发挥硅微惯性传感器体积小、成本低的优势,采用了一种适用于不同精度情况下的多传感器数据处理方法,用以构筑测量同一参数的惯性敏......