硅微加速度计

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本文介绍一种适于航天飞行用的新型伺服加速度计。它采用电容工作方式,其特点是灵敏度高,体积小。文中介绍其工作原理、制作方法及试验结果。加速度计工作量程为±0.001g~±lg,在此量程范围内分4段供选择转换。试验结果表明,此种新型加速度计的分辨率业已达到10^-6g,最低和最高工作频率分别为0~100Hz和0~3kHz。
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